发光学报
髮光學報
발광학보
CHINESE JOURNAL OF LUMINESCENCE
2006年
4期
503-508
,共6页
张霞%李效民%陈同来%于伟东%高相东%张灿云%赵俊亮
張霞%李效民%陳同來%于偉東%高相東%張燦雲%趙俊亮
장하%리효민%진동래%우위동%고상동%장찬운%조준량
超声喷雾热分解%p型Zn1-xMgxO薄膜%导电性能%光致发光
超聲噴霧熱分解%p型Zn1-xMgxO薄膜%導電性能%光緻髮光
초성분무열분해%p형Zn1-xMgxO박막%도전성능%광치발광
采用超声喷雾热分解(Ultrasonic Spray Pyrolysis,USP)方法,以醋酸锌、醋酸镁、醋酸铵、氯化铝的混合水溶液为前驱溶液,在单晶Si(100)衬底上制备了ZnO,Zn0.81Mg019O,N-Al共掺杂ZnO和N-Al共掺杂Zn0.81Mg0.19O薄膜.以X射线衍射(XRD)、场发射-扫描电镜(FE-SEM)、霍尔效应(Hall-effect)、光致发光(Photoluminescence,PL)谱等手段研究了薄膜的晶体结构、表面形貌、电学性能、光学性能和带隙变化.电学测试结果表明,未掺杂ZnO及Zn0.81Mg0.19O薄膜为n型导电;而N-Al共掺杂ZnO和N-Al共掺杂Zn0.81Mg0.19O薄膜呈p型导电.Zn0.81Mg0.19O和N-Al共掺杂Zn0.81Mg0.19O(p型)薄膜在维持ZnO纤锌矿结构的前提下,光学带隙随Mg掺杂量增加而增大.初步结果显示,优化工艺参数下通过Mg掺杂制备光学带隙可调的p型Zn0.81Mg0.19O薄膜,对于试制Zn1-xMgxO基同质p-n结、短波长(紫外、深紫外)器件等方面有重要意义.
採用超聲噴霧熱分解(Ultrasonic Spray Pyrolysis,USP)方法,以醋痠鋅、醋痠鎂、醋痠銨、氯化鋁的混閤水溶液為前驅溶液,在單晶Si(100)襯底上製備瞭ZnO,Zn0.81Mg019O,N-Al共摻雜ZnO和N-Al共摻雜Zn0.81Mg0.19O薄膜.以X射線衍射(XRD)、場髮射-掃描電鏡(FE-SEM)、霍爾效應(Hall-effect)、光緻髮光(Photoluminescence,PL)譜等手段研究瞭薄膜的晶體結構、錶麵形貌、電學性能、光學性能和帶隙變化.電學測試結果錶明,未摻雜ZnO及Zn0.81Mg0.19O薄膜為n型導電;而N-Al共摻雜ZnO和N-Al共摻雜Zn0.81Mg0.19O薄膜呈p型導電.Zn0.81Mg0.19O和N-Al共摻雜Zn0.81Mg0.19O(p型)薄膜在維持ZnO纖鋅礦結構的前提下,光學帶隙隨Mg摻雜量增加而增大.初步結果顯示,優化工藝參數下通過Mg摻雜製備光學帶隙可調的p型Zn0.81Mg0.19O薄膜,對于試製Zn1-xMgxO基同質p-n結、短波長(紫外、深紫外)器件等方麵有重要意義.
채용초성분무열분해(Ultrasonic Spray Pyrolysis,USP)방법,이작산자、작산미、작산안、록화려적혼합수용액위전구용액,재단정Si(100)츤저상제비료ZnO,Zn0.81Mg019O,N-Al공참잡ZnO화N-Al공참잡Zn0.81Mg0.19O박막.이X사선연사(XRD)、장발사-소묘전경(FE-SEM)、곽이효응(Hall-effect)、광치발광(Photoluminescence,PL)보등수단연구료박막적정체결구、표면형모、전학성능、광학성능화대극변화.전학측시결과표명,미참잡ZnO급Zn0.81Mg0.19O박막위n형도전;이N-Al공참잡ZnO화N-Al공참잡Zn0.81Mg0.19O박막정p형도전.Zn0.81Mg0.19O화N-Al공참잡Zn0.81Mg0.19O(p형)박막재유지ZnO섬자광결구적전제하,광학대극수Mg참잡량증가이증대.초보결과현시,우화공예삼수하통과Mg참잡제비광학대극가조적p형Zn0.81Mg0.19O박막,대우시제Zn1-xMgxO기동질p-n결、단파장(자외、심자외)기건등방면유중요의의.
