光学精密工程
光學精密工程
광학정밀공정
OPTICS AND PRECISION ENGINEERING
2007年
3期
362-367
,共6页
凤良杰%董晓浩%康乐%徐朝银
鳳良傑%董曉浩%康樂%徐朝銀
봉량걸%동효호%강악%서조은
弧矢聚焦%双晶单色器%柔性铰链%压弯机构%形位误差
弧矢聚焦%雙晶單色器%柔性鉸鏈%壓彎機構%形位誤差
호시취초%쌍정단색기%유성교련%압만궤구%형위오차
介绍了利用柔性铰链机构对弧矢聚焦双晶单色器中第二晶体进行动态压弯的工作原理,优化了压弯机构和晶体的几何参数,然后应用有限元方法模拟分析压弯装置与晶体的力学性质,最后分析了弯晶的形位误差并计算因此造成的弯晶光束入射角的变化.分析结果表明:替换后单色器的水平接收角由1 mrad增加到3 mrad,样品上光斑的水平半高宽由12.5 mm减小到2.5 mm.优化后晶体因压弯产生的鞍形曲率半径约为弧矢曲率半径的1 700倍,造成的入射角误差为2.2 μrad;压弯装置上的最大平均应力约为800 MPa,并由此确定了以铍青铜作为压弯机构的材料,晶体的曲率半径为0.57～1.72 m和驱动力为8～2.67 N时的线性关系.分析结果表明:该单色器的设计完全达到了设计指标,在提高光子通量和光子密度的同时又能满足XAFS光束线测量过程中需要频繁快速扫描的要求.
介紹瞭利用柔性鉸鏈機構對弧矢聚焦雙晶單色器中第二晶體進行動態壓彎的工作原理,優化瞭壓彎機構和晶體的幾何參數,然後應用有限元方法模擬分析壓彎裝置與晶體的力學性質,最後分析瞭彎晶的形位誤差併計算因此造成的彎晶光束入射角的變化.分析結果錶明:替換後單色器的水平接收角由1 mrad增加到3 mrad,樣品上光斑的水平半高寬由12.5 mm減小到2.5 mm.優化後晶體因壓彎產生的鞍形麯率半徑約為弧矢麯率半徑的1 700倍,造成的入射角誤差為2.2 μrad;壓彎裝置上的最大平均應力約為800 MPa,併由此確定瞭以鈹青銅作為壓彎機構的材料,晶體的麯率半徑為0.57～1.72 m和驅動力為8～2.67 N時的線性關繫.分析結果錶明:該單色器的設計完全達到瞭設計指標,在提高光子通量和光子密度的同時又能滿足XAFS光束線測量過程中需要頻繁快速掃描的要求.
개소료이용유성교련궤구대호시취초쌍정단색기중제이정체진행동태압만적공작원리,우화료압만궤구화정체적궤하삼수,연후응용유한원방법모의분석압만장치여정체적역학성질,최후분석료만정적형위오차병계산인차조성적만정광속입사각적변화.분석결과표명:체환후단색기적수평접수각유1 mrad증가도3 mrad,양품상광반적수평반고관유12.5 mm감소도2.5 mm.우화후정체인압만산생적안형곡솔반경약위호시곡솔반경적1 700배,조성적입사각오차위2.2 μrad;압만장치상적최대평균응력약위800 MPa,병유차학정료이피청동작위압만궤구적재료,정체적곡솔반경위0.57～1.72 m화구동력위8～2.67 N시적선성관계.분석결과표명:해단색기적설계완전체도료설계지표,재제고광자통량화광자밀도적동시우능만족XAFS광속선측량과정중수요빈번쾌속소묘적요구.
