计算机工程
計算機工程
계산궤공정
COMPUTER ENGINEERING
2007年
3期
275-277
,共3页
扫描探针显微镜%反馈%控制器%数字信号处理
掃描探針顯微鏡%反饋%控製器%數字信號處理
소묘탐침현미경%반궤%공제기%수자신호처리
反馈是扫描探针显微镜控制的核心技术,但目前SPM通常使用基于模拟电路的反馈,因而基于数字信号处理器的数字反馈控制器具有较高的实用价值.该文设计了一种基于DSP的SPM数字反馈控制器,并介绍了其软硬件的设计及算法的改进.测试表明,该反馈控制器功能正常,稳定性和灵活性比模拟反馈控制器有较大的提高.
反饋是掃描探針顯微鏡控製的覈心技術,但目前SPM通常使用基于模擬電路的反饋,因而基于數字信號處理器的數字反饋控製器具有較高的實用價值.該文設計瞭一種基于DSP的SPM數字反饋控製器,併介紹瞭其軟硬件的設計及算法的改進.測試錶明,該反饋控製器功能正常,穩定性和靈活性比模擬反饋控製器有較大的提高.
반궤시소묘탐침현미경공제적핵심기술,단목전SPM통상사용기우모의전로적반궤,인이기우수자신호처리기적수자반궤공제기구유교고적실용개치.해문설계료일충기우DSP적SPM수자반궤공제기,병개소료기연경건적설계급산법적개진.측시표명,해반궤공제기공능정상,은정성화령활성비모의반궤공제기유교대적제고.
