红外与激光工程
紅外與激光工程
홍외여격광공정
INFRARED AND LASER ENGINEERING
2006年
z5期
68-71
,共4页
赵永林%李献杰%蔡道民%周洲%郭亚娜%韩丽丽
趙永林%李獻傑%蔡道民%週洲%郭亞娜%韓麗麗
조영림%리헌걸%채도민%주주%곽아나%한려려
AlGaAs/GaAs%量子阱红外探测器%暗电流
AlGaAs/GaAs%量子阱紅外探測器%暗電流
AlGaAs/GaAs%양자정홍외탐측기%암전류
介绍了AlGaAs/GaAs多量子阱红外探测器(QWIP)暗电流与噪声的关系和降低暗电流的途径:基于湿法化学腐蚀工艺制作了300μm×300μm台面单元器件,并用变温液氦杜瓦测试系统在不同温度下对红外探测器暗电流进行了测试并分析.在温度小于40 K时,随着温度的改变暗电流没有明显的变化;当温度大于40 K时,暗电流随着温度的升高迅速变大,正、负偏压下QWIP暗电流具有不对称特性.
介紹瞭AlGaAs/GaAs多量子阱紅外探測器(QWIP)暗電流與譟聲的關繫和降低暗電流的途徑:基于濕法化學腐蝕工藝製作瞭300μm×300μm檯麵單元器件,併用變溫液氦杜瓦測試繫統在不同溫度下對紅外探測器暗電流進行瞭測試併分析.在溫度小于40 K時,隨著溫度的改變暗電流沒有明顯的變化;噹溫度大于40 K時,暗電流隨著溫度的升高迅速變大,正、負偏壓下QWIP暗電流具有不對稱特性.
개소료AlGaAs/GaAs다양자정홍외탐측기(QWIP)암전류여조성적관계화강저암전류적도경:기우습법화학부식공예제작료300μm×300μm태면단원기건,병용변온액양두와측시계통재불동온도하대홍외탐측기암전류진행료측시병분석.재온도소우40 K시,수착온도적개변암전류몰유명현적변화;당온도대우40 K시,암전류수착온도적승고신속변대,정、부편압하QWIP암전류구유불대칭특성.
