电子工业专用设备
電子工業專用設備
전자공업전용설비
EQUIPMENT FOR ELECTRONIC PRODUCTS MANUFACTURING
2010年
10期
12-14
,共3页
周庆亚%高建利%侯为萍%周冉%孟宪俊
週慶亞%高建利%侯為萍%週冉%孟憲俊
주경아%고건리%후위평%주염%맹헌준
半导体%抓取和放置%控制方法%轨迹规划
半導體%抓取和放置%控製方法%軌跡規劃
반도체%조취화방치%공제방법%궤적규화
抓取和放置机构是半导体设备上的关键机构,它的运动时序直接关系到设备运行效率,介绍了半导体设备抓取和放置机构的几种控制方法,通过对几种方法的运行轨迹进行对比,获得并列举了各个方法的优缺点,并给出了应用场合.
抓取和放置機構是半導體設備上的關鍵機構,它的運動時序直接關繫到設備運行效率,介紹瞭半導體設備抓取和放置機構的幾種控製方法,通過對幾種方法的運行軌跡進行對比,穫得併列舉瞭各箇方法的優缺點,併給齣瞭應用場閤.
조취화방치궤구시반도체설비상적관건궤구,타적운동시서직접관계도설비운행효솔,개소료반도체설비조취화방치궤구적궤충공제방법,통과대궤충방법적운행궤적진행대비,획득병열거료각개방법적우결점,병급출료응용장합.
