光电工程
光電工程
광전공정
OPTO-ELECTRONIC ENGINEERING
2011年
9期
40-45
,共6页
对准系统%误差%软件补偿%功能集成
對準繫統%誤差%軟件補償%功能集成
대준계통%오차%연건보상%공능집성
本文根据分层制造对准系统的精度要求,研究了改善精度的软件补偿措施:设计了SUSAN和多帧平均降噪结合的无损滤波算法以减小滤波过程对标记图像产生的畸变；以频域能量谱函数作为系统的聚焦测度函数实现自动聚焦,消减了由离焦引入的对准误差；以校正残差均方差的大小和稳定性为依据确定了三次多项式畸变模型,校正后畸变引入标记定位误差小于0.25 μm;通过对摆动轨迹的拟合和误差补偿使系统机械不稳定性造成的对准精度损失小于1.3μm.通过Delphi和Matlab混合编程完成了上述功能的软件实现和集成.
本文根據分層製造對準繫統的精度要求,研究瞭改善精度的軟件補償措施:設計瞭SUSAN和多幀平均降譟結閤的無損濾波算法以減小濾波過程對標記圖像產生的畸變；以頻域能量譜函數作為繫統的聚焦測度函數實現自動聚焦,消減瞭由離焦引入的對準誤差；以校正殘差均方差的大小和穩定性為依據確定瞭三次多項式畸變模型,校正後畸變引入標記定位誤差小于0.25 μm;通過對襬動軌跡的擬閤和誤差補償使繫統機械不穩定性造成的對準精度損失小于1.3μm.通過Delphi和Matlab混閤編程完成瞭上述功能的軟件實現和集成.
본문근거분층제조대준계통적정도요구,연구료개선정도적연건보상조시:설계료SUSAN화다정평균강조결합적무손려파산법이감소려파과정대표기도상산생적기변；이빈역능량보함수작위계통적취초측도함수실현자동취초,소감료유리초인입적대준오차；이교정잔차균방차적대소화은정성위의거학정료삼차다항식기변모형,교정후기변인입표기정위오차소우0.25 μm;통과대파동궤적적의합화오차보상사계통궤계불은정성조성적대준정도손실소우1.3μm.통과Delphi화Matlab혼합편정완성료상술공능적연건실현화집성.
