电子显微学报
電子顯微學報
전자현미학보
JOURNAL OF CHINESE ELECTRON MICROSCOPY SOCIETY
2012年
3期
226-229
,共4页
傅志强%贺翠翠%刘锡贝%郭俊诚%赵江勇%孟凯
傅誌彊%賀翠翠%劉錫貝%郭俊誠%趙江勇%孟凱
부지강%하취취%류석패%곽준성%조강용%맹개
纳米尺度%扫描电镜%束斑%工作距离
納米呎度%掃描電鏡%束斑%工作距離
납미척도%소묘전경%속반%공작거리
本文从纳米尺度测量、长度标准器选择、扫描电镜参数选取入手,在不同的试验条件下,根据GB/T20307-2006对纳米级尺度进行测量,系统地研究了加速电压、束斑大小、工作距离以及象限位置对纳米级TiO2、ZnO、C纳米管测量结果的影响.通过分析讨论,提出了提高纳米尺度测量精度的最佳方案.
本文從納米呎度測量、長度標準器選擇、掃描電鏡參數選取入手,在不同的試驗條件下,根據GB/T20307-2006對納米級呎度進行測量,繫統地研究瞭加速電壓、束斑大小、工作距離以及象限位置對納米級TiO2、ZnO、C納米管測量結果的影響.通過分析討論,提齣瞭提高納米呎度測量精度的最佳方案.
본문종납미척도측량、장도표준기선택、소묘전경삼수선취입수,재불동적시험조건하,근거GB/T20307-2006대납미급척도진행측량,계통지연구료가속전압、속반대소、공작거리이급상한위치대납미급TiO2、ZnO、C납미관측량결과적영향.통과분석토론,제출료제고납미척도측량정도적최가방안.
