西安交通大学学报
西安交通大學學報
서안교통대학학보
JOURNAL OF XI'AN JIAOTONG UNIVERSITY
2001年
1期
47-50
,共4页
于殿泓%郭俊杰%李涤尘%卢秉恒%山本昌彦
于殿泓%郭俊傑%李滌塵%盧秉恆%山本昌彥
우전홍%곽준걸%리조진%로병항%산본창언
微激励器%立体成型%静电力%稳定平衡
微激勵器%立體成型%靜電力%穩定平衡
미격려기%입체성형%정전력%은정평형
介绍了一种新型的微细加工方法,即微型立体成型法以及基于这种方法制造微型电容式激励器的工序步骤,详细分析了该激励器在静电力作用下的静态特性,导出了可动极板处于稳定平衡时的条件及在此条件下的线位移范围,给出了驱动电压与可动极板位移量之间的关系曲线,用所制作的微激励器对上述推证结果进行了实验验证.
介紹瞭一種新型的微細加工方法,即微型立體成型法以及基于這種方法製造微型電容式激勵器的工序步驟,詳細分析瞭該激勵器在靜電力作用下的靜態特性,導齣瞭可動極闆處于穩定平衡時的條件及在此條件下的線位移範圍,給齣瞭驅動電壓與可動極闆位移量之間的關繫麯線,用所製作的微激勵器對上述推證結果進行瞭實驗驗證.
개소료일충신형적미세가공방법,즉미형입체성형법이급기우저충방법제조미형전용식격려기적공서보취,상세분석료해격려기재정전력작용하적정태특성,도출료가동겁판처우은정평형시적조건급재차조건하적선위이범위,급출료구동전압여가동겁판위이량지간적관계곡선,용소제작적미격려기대상술추증결과진행료실험험증.
