传感技术学报
傳感技術學報
전감기술학보
Journal of Transduction Technology
2004年
3期
479-483
,共5页
邢建平%蔡成森%李娟%裘南畹
邢建平%蔡成森%李娟%裘南畹
형건평%채성삼%리연%구남원
粉末溅射%薄膜%酒敏%器件
粉末濺射%薄膜%酒敏%器件
분말천사%박막%주민%기건
粉末溅射有制靶简单、掺杂容易的特点,并有掺杂稳定的优点.利用反溅,发展了粉末溅射,制备了酒敏微型平面薄膜.对薄膜的相关特性进行了研究,给出了薄膜最佳掺杂范围、最佳灵敏度的膜厚以及响应时间与恢复时间随膜厚变化的规律,总结了最优参数.又测试了器件性能,通过实验对影响灵敏度测试的条件如测试电压和湿度影响灵敏度的规律进行了分析和讨论.结论认为,所研制的粉末溅射微型薄膜酒敏器件性能可靠、灵敏度高、稳定性好.
粉末濺射有製靶簡單、摻雜容易的特點,併有摻雜穩定的優點.利用反濺,髮展瞭粉末濺射,製備瞭酒敏微型平麵薄膜.對薄膜的相關特性進行瞭研究,給齣瞭薄膜最佳摻雜範圍、最佳靈敏度的膜厚以及響應時間與恢複時間隨膜厚變化的規律,總結瞭最優參數.又測試瞭器件性能,通過實驗對影響靈敏度測試的條件如測試電壓和濕度影響靈敏度的規律進行瞭分析和討論.結論認為,所研製的粉末濺射微型薄膜酒敏器件性能可靠、靈敏度高、穩定性好.
분말천사유제파간단、참잡용역적특점,병유참잡은정적우점.이용반천,발전료분말천사,제비료주민미형평면박막.대박막적상관특성진행료연구,급출료박막최가참잡범위、최가령민도적막후이급향응시간여회복시간수막후변화적규률,총결료최우삼수.우측시료기건성능,통과실험대영향령민도측시적조건여측시전압화습도영향령민도적규률진행료분석화토론.결론인위,소연제적분말천사미형박막주민기건성능가고、령민도고、은정성호.
