纳米技术与精密工程
納米技術與精密工程
납미기술여정밀공정
NANOTECHNOLOGY AND PRECISION ENGINEERING
2005年
1期
64-67
,共4页
张燕君%陈才和%钟娟娟%崔宇明%吴波
張燕君%陳纔和%鐘娟娟%崔宇明%吳波
장연군%진재화%종연연%최우명%오파
声光相位调制%光电集成加速度计%叉指换能器%声表面波
聲光相位調製%光電集成加速度計%扠指換能器%聲錶麵波
성광상위조제%광전집성가속도계%차지환능기%성표면파
提出了一种新型的光电集成加速度地震检波器,这是一种全新的微光机电系统(MOEMS).为实现硅基底上的光波导M-Z干涉仪的相位调制,采用了声光相位调制的方法.该相位调制器利用叉指换能器(IDT)激发出声表面波(SAW)实现对光波导的相位调制.在对光波导声光相位调制机理深入研究的基础上,设计并制作了器件.实验结果与理论相一致.
提齣瞭一種新型的光電集成加速度地震檢波器,這是一種全新的微光機電繫統(MOEMS).為實現硅基底上的光波導M-Z榦涉儀的相位調製,採用瞭聲光相位調製的方法.該相位調製器利用扠指換能器(IDT)激髮齣聲錶麵波(SAW)實現對光波導的相位調製.在對光波導聲光相位調製機理深入研究的基礎上,設計併製作瞭器件.實驗結果與理論相一緻.
제출료일충신형적광전집성가속도지진검파기,저시일충전신적미광궤전계통(MOEMS).위실현규기저상적광파도M-Z간섭의적상위조제,채용료성광상위조제적방법.해상위조제기이용차지환능기(IDT)격발출성표면파(SAW)실현대광파도적상위조제.재대광파도성광상위조제궤리심입연구적기출상,설계병제작료기건.실험결과여이론상일치.
