机械强度
機械彊度
궤계강도
JOURNAL OF MECHANICAL STRENGTH
2005年
3期
331-334
,共4页
郇勇%张泰华%杨业敏%阮勇%张大成
郇勇%張泰華%楊業敏%阮勇%張大成
순용%장태화%양업민%원용%장대성
微电子机械系统%键合%微悬臂梁%强度
微電子機械繫統%鍵閤%微懸臂樑%彊度
미전자궤계계통%건합%미현비량%강도
研制微力学测试仪,对微电子机械系统中键合结构的强度进行测试.最大载荷为1.4 N,在载荷量程为450 mN时仪器的最高分辨力为10 μN.采用键合在玻璃基底上的硅悬臂梁作为试样.为模拟横力剪切破坏和扭转破坏工况,用微力学测试仪分别在悬臂梁的固定端和自由端施加载荷至试样破坏.测得相应的破坏载荷并计算出最大剪应力.对破坏残骸的显微观察发现,存在玻璃开裂和硅开裂2种失效模式.该技术为微电子机械系统(micro-electro-mechanical system,MEMS)键合结构的强度表征提供一种有效方法,并可用来进行微悬臂梁或微桥的强度测试.
研製微力學測試儀,對微電子機械繫統中鍵閤結構的彊度進行測試.最大載荷為1.4 N,在載荷量程為450 mN時儀器的最高分辨力為10 μN.採用鍵閤在玻璃基底上的硅懸臂樑作為試樣.為模擬橫力剪切破壞和扭轉破壞工況,用微力學測試儀分彆在懸臂樑的固定耑和自由耑施加載荷至試樣破壞.測得相應的破壞載荷併計算齣最大剪應力.對破壞殘骸的顯微觀察髮現,存在玻璃開裂和硅開裂2種失效模式.該技術為微電子機械繫統(micro-electro-mechanical system,MEMS)鍵閤結構的彊度錶徵提供一種有效方法,併可用來進行微懸臂樑或微橋的彊度測試.
연제미역학측시의,대미전자궤계계통중건합결구적강도진행측시.최대재하위1.4 N,재재하량정위450 mN시의기적최고분변력위10 μN.채용건합재파리기저상적규현비량작위시양.위모의횡력전절파배화뉴전파배공황,용미역학측시의분별재현비량적고정단화자유단시가재하지시양파배.측득상응적파배재하병계산출최대전응력.대파배잔해적현미관찰발현,존재파리개렬화규개렬2충실효모식.해기술위미전자궤계계통(micro-electro-mechanical system,MEMS)건합결구적강도표정제공일충유효방법,병가용래진행미현비량혹미교적강도측시.
