CAJ | 학술논문

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中国科学技术大学学报 중국과학기술대학학보
JOURNAL OF UNIVERSITY OF SCIENCE AND TECHNOLOGY OF CHINA
2007年 1期 24-29 ,共6页

李木军%沈连婠%赵玮%李晓光%范明聪%王晓东%刘雳颋%郑津津

리목군%침련완%조위%리효광%범명총%왕효동%류력정%정진진

接近式紫外光刻%部分相干光%复相干度%霍普金斯公式%图形失真接近式紫外光刻%部分相榦光%複相榦度%霍普金斯公式%圖形失真
접근식자외광각%부분상간광%복상간도%곽보금사공식%도형실진

基于Hopkins公式,研究了接近式紫外光刻中扩展准单色光源经柯勒照明系统传播到掩模表面上任两点的复相干度,并建立相应的基于部分相干光理论的光刻模型.应用部分相干光的传播理论,研究掩模平面到光刻胶表面任意两点互强度的传播,进而得到光刻胶表面的光强分布.以此为基础,分析了由于掩模与光刻胶之间光的衍射效应而产生的光刻微结构的图形失真.给出了理论模型的计算模拟结果,并用实验对该理论模型的计算结果进行了验证.
기우Hopkins공식,연구료접근식자외광각중확전준단색광원경가륵조명계통전파도엄모표면상임량점적복상간도,병건립상응적기우부분상간광이론적광각모형.응용부분상간광적전파이론,연구엄모평면도광각효표면임의량점호강도적전파,진이득도광각효표면적광강분포.이차위기출,분석료유우엄모여광각효지간광적연사효응이산생적광각미결구적도형실진.급출료이론모형적계산모의결과,병용실험대해이론모형적계산결과진행료험증.