上海大学学报（自然科学版）
上海大學學報（自然科學版）
상해대학학보（자연과학판）
JOURNAL OF SHANGHAI UNIVERSITY (NATURAL SCIENCE EDITION)
2007年
3期
320-324
,共5页
施凌云%王林军%蒋丽雯%刘健敏%夏义本
施凌雲%王林軍%蔣麗雯%劉健敏%夏義本
시릉운%왕림군%장려문%류건민%하의본
金刚石薄膜%碳源浓度%表面粗糙度%光学性质
金剛石薄膜%碳源濃度%錶麵粗糙度%光學性質
금강석박막%탄원농도%표면조조도%광학성질
采用热丝化学气相沉积(HFCVD)方法,在反应气压、衬底温度一定的情况下,通过改变碳源浓度以制备低粗糙度金刚石薄膜.扫描电镜(SEM)和原子力显微镜(AFM)测试结果表明,随着碳源浓度适当增加(从2%增加到3%),金刚石薄膜表面晶粒尺寸减小到纳米量级,平均粗糙度从45nm降低到21nm,同时光学透过率下降.椭圆偏振光谱拟合结果显示,随着碳源浓度的增加,薄膜折射率n稍有偏离理想值.拉曼散射光谱显示随着碳源浓度的增加,薄膜中非金刚石相含量增加,一定程度上影响了薄膜的光学质量.结果表明,在表面粗糙度相差不大的情况下,薄膜的质量决定了其光学性质.
採用熱絲化學氣相沉積(HFCVD)方法,在反應氣壓、襯底溫度一定的情況下,通過改變碳源濃度以製備低粗糙度金剛石薄膜.掃描電鏡(SEM)和原子力顯微鏡(AFM)測試結果錶明,隨著碳源濃度適噹增加(從2%增加到3%),金剛石薄膜錶麵晶粒呎吋減小到納米量級,平均粗糙度從45nm降低到21nm,同時光學透過率下降.橢圓偏振光譜擬閤結果顯示,隨著碳源濃度的增加,薄膜摺射率n稍有偏離理想值.拉曼散射光譜顯示隨著碳源濃度的增加,薄膜中非金剛石相含量增加,一定程度上影響瞭薄膜的光學質量.結果錶明,在錶麵粗糙度相差不大的情況下,薄膜的質量決定瞭其光學性質.
채용열사화학기상침적(HFCVD)방법,재반응기압、츤저온도일정적정황하,통과개변탄원농도이제비저조조도금강석박막.소묘전경(SEM)화원자력현미경(AFM)측시결과표명,수착탄원농도괄당증가(종2%증가도3%),금강석박막표면정립척촌감소도납미량급,평균조조도종45nm강저도21nm,동시광학투과솔하강.타원편진광보의합결과현시,수착탄원농도적증가,박막절사솔n초유편리이상치.랍만산사광보현시수착탄원농도적증가,박막중비금강석상함량증가,일정정도상영향료박막적광학질량.결과표명,재표면조조도상차불대적정황하,박막적질량결정료기광학성질.
