微细加工技术
微細加工技術
미세가공기술
MICROFABRICATION TECHNOLOGY
2007年
6期
8-11
,共4页
赵立新%胡松%王肇志%罗正全
趙立新%鬍鬆%王肇誌%囉正全
조립신%호송%왕조지%라정전
光电码盘%扇区掩模%高斯光斑%聚焦扫描
光電碼盤%扇區掩模%高斯光斑%聚焦掃描
광전마반%선구엄모%고사광반%취초소묘
为了改进光电码盘的制作工艺,提高效率,降低成本,提出了一种光电码盘的光刻方法.通过计算机控制激光聚焦扫描扇区掩模制作来选择扇区掩模的码道,采用光学光刻的方法制作码盘,取消了传统码盘光刻的精缩物镜和穿孔带.同时,扫描光斑远大于直写光斑,大大提高了加工效率.阐述了高斯光斑的腰束半径与扫描步距的关系,分析了扫描场能量分布的不均匀度,并给出了曝光实验的光刻效果.结果表明,该方法能够满足光电码盘的制作要求,成功地取代了光电码盘的传统制作方法,具有很好的工程应用前景.
為瞭改進光電碼盤的製作工藝,提高效率,降低成本,提齣瞭一種光電碼盤的光刻方法.通過計算機控製激光聚焦掃描扇區掩模製作來選擇扇區掩模的碼道,採用光學光刻的方法製作碼盤,取消瞭傳統碼盤光刻的精縮物鏡和穿孔帶.同時,掃描光斑遠大于直寫光斑,大大提高瞭加工效率.闡述瞭高斯光斑的腰束半徑與掃描步距的關繫,分析瞭掃描場能量分佈的不均勻度,併給齣瞭曝光實驗的光刻效果.結果錶明,該方法能夠滿足光電碼盤的製作要求,成功地取代瞭光電碼盤的傳統製作方法,具有很好的工程應用前景.
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