材料科学与工程学报
材料科學與工程學報
재료과학여공정학보
MATERIALS SCIENCE AND ENGINEERING
2008年
4期
582-584,598
,共4页
王瑞%周灵平%汪明朴%朱家俊%李德意%李绍禄
王瑞%週靈平%汪明樸%硃傢俊%李德意%李紹祿
왕서%주령평%왕명박%주가준%리덕의%리소록
低维金属材料%铜钨薄膜%磁控溅射%亚稳固溶体
低維金屬材料%銅鎢薄膜%磁控濺射%亞穩固溶體
저유금속재료%동오박막%자공천사%아은고용체
采用双靶磁控溅射共沉积方法制备Cu-W薄膜,其微观结构及形貌通过XRD、TEM和SEM方法测试,结果表明,Cu-W薄膜是由Cu固溶于W或W固溶于Cu的亚稳态固溶体组成,且随着W含量的增加,Cu-W薄膜依次形成面心立方fee结构的Cu基亚稳固溶体、fee和bee结构固溶体的双相区以及体心立方bee结构的W基亚稳固溶体,晶粒尺寸随溶质原子含量的增加而减小.这些亚稳固溶体的形成是由于溅射出的原子动能足以克服Cu、W固溶所需的混合热.以及溅射过程中粒子的纳米化和成膜过程中引入的大量缺陷造成的.
採用雙靶磁控濺射共沉積方法製備Cu-W薄膜,其微觀結構及形貌通過XRD、TEM和SEM方法測試,結果錶明,Cu-W薄膜是由Cu固溶于W或W固溶于Cu的亞穩態固溶體組成,且隨著W含量的增加,Cu-W薄膜依次形成麵心立方fee結構的Cu基亞穩固溶體、fee和bee結構固溶體的雙相區以及體心立方bee結構的W基亞穩固溶體,晶粒呎吋隨溶質原子含量的增加而減小.這些亞穩固溶體的形成是由于濺射齣的原子動能足以剋服Cu、W固溶所需的混閤熱.以及濺射過程中粒子的納米化和成膜過程中引入的大量缺陷造成的.
채용쌍파자공천사공침적방법제비Cu-W박막,기미관결구급형모통과XRD、TEM화SEM방법측시,결과표명,Cu-W박막시유Cu고용우W혹W고용우Cu적아은태고용체조성,차수착W함량적증가,Cu-W박막의차형성면심립방fee결구적Cu기아은고용체、fee화bee결구고용체적쌍상구이급체심립방bee결구적W기아은고용체,정립척촌수용질원자함량적증가이감소.저사아은고용체적형성시유우천사출적원자동능족이극복Cu、W고용소수적혼합열.이급천사과정중입자적납미화화성막과정중인입적대량결함조성적.
