电加工与模具
電加工與模具
전가공여모구
ELECTROMACHINING & MOULD
2009年
5期
24-29,60
,共7页
马晓宇%李勇%胡满红%刘改红
馬曉宇%李勇%鬍滿紅%劉改紅
마효우%리용%호만홍%류개홍
微细电解加工%加工精度%电场约束%间歇回退
微細電解加工%加工精度%電場約束%間歇迴退
미세전해가공%가공정도%전장약속%간헐회퇴
电解加工的阳极电化学溶解原理使其在微细加工领域具有巨大的发展潜力,但杂散腐蚀和流场条件恶劣制约加工精度的提高.分析了影响微细电解加工的主要因素,提出综合改善微细电解加工精度的工艺途径.理论分析和实验研究均表明:将LIGA工艺制备高质量微细阵列电极、电极侧壁绝缘、高频脉冲电流及非线性电解液加工、电极间歇回退伺服控制等方法有机结合,能有效约束电场、改善流场,提高微细电解加工的精度.
電解加工的暘極電化學溶解原理使其在微細加工領域具有巨大的髮展潛力,但雜散腐蝕和流場條件噁劣製約加工精度的提高.分析瞭影響微細電解加工的主要因素,提齣綜閤改善微細電解加工精度的工藝途徑.理論分析和實驗研究均錶明:將LIGA工藝製備高質量微細陣列電極、電極側壁絕緣、高頻脈遲電流及非線性電解液加工、電極間歇迴退伺服控製等方法有機結閤,能有效約束電場、改善流場,提高微細電解加工的精度.
전해가공적양겁전화학용해원리사기재미세가공영역구유거대적발전잠력,단잡산부식화류장조건악렬제약가공정도적제고.분석료영향미세전해가공적주요인소,제출종합개선미세전해가공정도적공예도경.이론분석화실험연구균표명:장LIGA공예제비고질량미세진렬전겁、전겁측벽절연、고빈맥충전류급비선성전해액가공、전겁간헐회퇴사복공제등방법유궤결합,능유효약속전장、개선류장,제고미세전해가공적정도.
