CAJ | 학술논문

本文利用朗缪尔双探针对电弧离子镀等离子体进行了诊断.双探针具有收集电流小的优点(小于离子饱和电流),可以避免探针在高密度电弧离子镀等离子体中被烧坏.利用离散傅里叶变换(DFT)对测量曲线进行平滑,有效地克服了电弧离子镀等离子体放电所固有的强烈波动.探针端部设计能够避免由薄膜沉积造成的探针与支撑杆短路问题.实验结果表明,等离子体密度随着弧电流和气压的增加而增加,而电子温度随着弧电流和气压变化不明显.另外,使用双靶放电等离子体密度和电子温度高于单靶放电.这些结果提供了电弧离子镀等离子体的基本参数,对于材料涂层工艺研究具有积极意义.
본문이용랑무이쌍탐침대전호리자도등리자체진행료진단.쌍탐침구유수집전류소적우점(소우리자포화전류),가이피면탐침재고밀도전호리자도등리자체중피소배.이용리산부리협변환(DFT)대측량곡선진행평활,유효지극복료전호리자도등리자체방전소고유적강렬파동.탐침단부설계능구피면유박막침적조성적탐침여지탱간단로문제.실험결과표명,등리자체밀도수착호전류화기압적증가이증가,이전자온도수착호전류화기압변화불명현.령외,사용쌍파방전등리자체밀도화전자온도고우단파방전.저사결과제공료전호리자도등리자체적기본삼수,대우재료도층공예연구구유적겁의의.