压电与声光
壓電與聲光
압전여성광
PIEZOELECTRICS & ACOUSTOOPTICS
2009年
5期
675-677,681
,共4页
宫铭举%何庆%汤亮%马军%乔东海%邓越%王孟姣
宮銘舉%何慶%湯亮%馬軍%喬東海%鄧越%王孟姣
궁명거%하경%탕량%마군%교동해%산월%왕맹교
微机电系统(MEMS)%低频%电容式%圆形振动膜%高灵敏度%通频带
微機電繫統(MEMS)%低頻%電容式%圓形振動膜%高靈敏度%通頻帶
미궤전계통(MEMS)%저빈%전용식%원형진동막%고령민도%통빈대
在硅微电容式传声器相关理论及前人对方形膜的研究的基础上,提出了一种用于测试低频信号的电容式高灵敏度圆形硅微振动膜传声器.模拟仿真和结构参数优化,为实践提供了理论依据.在此基础上,探索性的研制了圆形振动膜半径为40 mm,气隙厚度为50 μm的低频传声器,实验表明,该传声器具有较高的灵敏度,当偏置电压为6 V、100 Hz时,灵敏度高达-25 dB,在通频带(20～800 Hz)局部平坦.
在硅微電容式傳聲器相關理論及前人對方形膜的研究的基礎上,提齣瞭一種用于測試低頻信號的電容式高靈敏度圓形硅微振動膜傳聲器.模擬倣真和結構參數優化,為實踐提供瞭理論依據.在此基礎上,探索性的研製瞭圓形振動膜半徑為40 mm,氣隙厚度為50 μm的低頻傳聲器,實驗錶明,該傳聲器具有較高的靈敏度,噹偏置電壓為6 V、100 Hz時,靈敏度高達-25 dB,在通頻帶(20～800 Hz)跼部平坦.
재규미전용식전성기상관이론급전인대방형막적연구적기출상,제출료일충용우측시저빈신호적전용식고령민도원형규미진동막전성기.모의방진화결구삼수우화,위실천제공료이론의거.재차기출상,탐색성적연제료원형진동막반경위40 mm,기극후도위50 μm적저빈전성기,실험표명,해전성기구유교고적령민도,당편치전압위6 V、100 Hz시,령민도고체-25 dB,재통빈대(20～800 Hz)국부평탄.
