微电子学
微電子學
미전자학
MICROELECTRONICS
2007年
1期
24-27
,共4页
功率器件%离子注入%硼基区%集成电路工艺
功率器件%離子註入%硼基區%集成電路工藝
공솔기건%리자주입%붕기구%집성전로공예
随着功率双极集成电路在军民两用的各种电源管理、功率驱动等领域的广泛应用,以及集成电路生产规模的进一步扩大,对参数一致性、重复性、均匀性的要求越来越高;文章重点介绍功率器件硼基区注入工艺,对工艺原理和工艺方案进行了详细阐述;并给出了工艺结果以及在产品中的应用情况.
隨著功率雙極集成電路在軍民兩用的各種電源管理、功率驅動等領域的廣汎應用,以及集成電路生產規模的進一步擴大,對參數一緻性、重複性、均勻性的要求越來越高;文章重點介紹功率器件硼基區註入工藝,對工藝原理和工藝方案進行瞭詳細闡述;併給齣瞭工藝結果以及在產品中的應用情況.
수착공솔쌍겁집성전로재군민량용적각충전원관리、공솔구동등영역적엄범응용,이급집성전로생산규모적진일보확대,대삼수일치성、중복성、균균성적요구월래월고;문장중점개소공솔기건붕기구주입공예,대공예원리화공예방안진행료상세천술;병급출료공예결과이급재산품중적응용정황.
