激光技术
激光技術
격광기술
LASER TECHNOLOGY
2011年
4期
472-476
,共5页
汪旭煌%姚建华%周国斌%楼程华%杨渊思
汪旭煌%姚建華%週國斌%樓程華%楊淵思
왕욱황%요건화%주국빈%루정화%양연사
激光技术%激光切割%裂纹控制法%液晶玻璃基板%裂纹扩展
激光技術%激光切割%裂紋控製法%液晶玻璃基闆%裂紋擴展
격광기술%격광절할%렬문공제법%액정파리기판%렬문확전
为了实现液晶玻璃基板的可控断裂切割,提出了一种液晶玻璃基板激光切割的新方法.采用Nd:YAG激光在液晶玻璃基板上预置初始裂纹,用CO2激光作为热源对其进行加热,并用Ar气进行冷却.分析了激光光斑尺寸和液晶玻璃基板厚度对切割的影响,并与传统机械切割进行了对比.用扫描电子显微镜检测了激光切割后切割表面及断面形貌.结果表明,运用机械切割,其基体内存在大量的微裂纹,而基于热裂法的液晶玻璃基板激光切割表面光滑平直、无毛刺、基体内无微裂纹存在,切割断面影响区小于20μm,优越性明显高于机械切割.
為瞭實現液晶玻璃基闆的可控斷裂切割,提齣瞭一種液晶玻璃基闆激光切割的新方法.採用Nd:YAG激光在液晶玻璃基闆上預置初始裂紋,用CO2激光作為熱源對其進行加熱,併用Ar氣進行冷卻.分析瞭激光光斑呎吋和液晶玻璃基闆厚度對切割的影響,併與傳統機械切割進行瞭對比.用掃描電子顯微鏡檢測瞭激光切割後切割錶麵及斷麵形貌.結果錶明,運用機械切割,其基體內存在大量的微裂紋,而基于熱裂法的液晶玻璃基闆激光切割錶麵光滑平直、無毛刺、基體內無微裂紋存在,切割斷麵影響區小于20μm,優越性明顯高于機械切割.
위료실현액정파리기판적가공단렬절할,제출료일충액정파리기판격광절할적신방법.채용Nd:YAG격광재액정파리기판상예치초시렬문,용CO2격광작위열원대기진행가열,병용Ar기진행냉각.분석료격광광반척촌화액정파리기판후도대절할적영향,병여전통궤계절할진행료대비.용소묘전자현미경검측료격광절할후절할표면급단면형모.결과표명,운용궤계절할,기기체내존재대량적미렬문,이기우열렬법적액정파리기판격광절할표면광활평직、무모자、기체내무미렬문존재,절할단면영향구소우20μm,우월성명현고우궤계절할.
