机械设计与制造
機械設計與製造
궤계설계여제조
MACHINERY DESIGN & MANUFACTURE
2012年
5期
121-123
,共3页
热板%温度场%回归模型%均匀设计
熱闆%溫度場%迴歸模型%均勻設計
열판%온도장%회귀모형%균균설계
光刻工艺中对热板表面的温度场均匀性有着极高的要求.在热板设计参数的选择问题上,通过使用均匀实验设计的方法,从均匀分散性的角度出发挑选代表点,并对这些代表点应用ANSYS仿真模拟软件进行分析,得到不同设计参数情况下的热板表面温度场均匀性数据.然后对代表点的仿真结果数据进行回归建模.经过验证,回归模型计算结果与仿真结果有较高的一致性.根据所得到的回归模型,热板设计人员可以方便的了解不同设计参数取值情况下的热板表面温度的均匀性,并更好的做出选择.
光刻工藝中對熱闆錶麵的溫度場均勻性有著極高的要求.在熱闆設計參數的選擇問題上,通過使用均勻實驗設計的方法,從均勻分散性的角度齣髮挑選代錶點,併對這些代錶點應用ANSYS倣真模擬軟件進行分析,得到不同設計參數情況下的熱闆錶麵溫度場均勻性數據.然後對代錶點的倣真結果數據進行迴歸建模.經過驗證,迴歸模型計算結果與倣真結果有較高的一緻性.根據所得到的迴歸模型,熱闆設計人員可以方便的瞭解不同設計參數取值情況下的熱闆錶麵溫度的均勻性,併更好的做齣選擇.
광각공예중대열판표면적온도장균균성유착겁고적요구.재열판설계삼수적선택문제상,통과사용균균실험설계적방법,종균균분산성적각도출발도선대표점,병대저사대표점응용ANSYS방진모의연건진행분석,득도불동설계삼수정황하적열판표면온도장균균성수거.연후대대표점적방진결과수거진행회귀건모.경과험증,회귀모형계산결과여방진결과유교고적일치성.근거소득도적회귀모형,열판설계인원가이방편적료해불동설계삼수취치정황하적열판표면온도적균균성,병경호적주출선택.
