人工晶体学报
人工晶體學報
인공정체학보
2012年
3期
680-686
,共7页
黄国强%毛俊楠%王红星%华超
黃國彊%毛俊楠%王紅星%華超
황국강%모준남%왕홍성%화초
化学气相沉积%数值模拟%传质%反应%多晶硅%硅沉积速率
化學氣相沉積%數值模擬%傳質%反應%多晶硅%硅沉積速率
화학기상침적%수치모의%전질%반응%다정규%규침적속솔
建立了氢气和三氯氢硅系统的多晶硅气相沉积反应模型,通过Chemkin4.0耦合气相反应、表面反应机理,利用流体力学软件Fluent 6.3.26数值求解.根据模拟结果绘制了进气温度、进气组成、沉积表面温度以及反应压力与硅沉积速率的关系曲线,阐述了这些条件对于硅沉积速率的影响,同时把模拟结果与文献中的实验数据和计算结果进行对比.结果表明,硅沉积速率随反应温度和反应压力的提高而提高,随进气温度的提高而提高,当氢气摩尔组成低于0.8时,与氢气物质的量组成成正比,氢气物质的量组成大于0.8时,与氢气摩尔组成成反比.
建立瞭氫氣和三氯氫硅繫統的多晶硅氣相沉積反應模型,通過Chemkin4.0耦閤氣相反應、錶麵反應機理,利用流體力學軟件Fluent 6.3.26數值求解.根據模擬結果繪製瞭進氣溫度、進氣組成、沉積錶麵溫度以及反應壓力與硅沉積速率的關繫麯線,闡述瞭這些條件對于硅沉積速率的影響,同時把模擬結果與文獻中的實驗數據和計算結果進行對比.結果錶明,硅沉積速率隨反應溫度和反應壓力的提高而提高,隨進氣溫度的提高而提高,噹氫氣摩爾組成低于0.8時,與氫氣物質的量組成成正比,氫氣物質的量組成大于0.8時,與氫氣摩爾組成成反比.
건립료경기화삼록경규계통적다정규기상침적반응모형,통과Chemkin4.0우합기상반응、표면반응궤리,이용류체역학연건Fluent 6.3.26수치구해.근거모의결과회제료진기온도、진기조성、침적표면온도이급반응압력여규침적속솔적관계곡선,천술료저사조건대우규침적속솔적영향,동시파모의결과여문헌중적실험수거화계산결과진행대비.결과표명,규침적속솔수반응온도화반응압력적제고이제고,수진기온도적제고이제고,당경기마이조성저우0.8시,여경기물질적량조성성정비,경기물질적량조성대우0.8시,여경기마이조성성반비.
