人工晶体学报
人工晶體學報
인공정체학보
2003年
4期
361-365
,共5页
邱春文%石旺舟%王晓晶%周燕
邱春文%石旺舟%王曉晶%週燕
구춘문%석왕주%왕효정%주연
多晶硅带衬底%多晶硅薄膜%等离子体化学气相沉积法%二次引铝%低温制备
多晶硅帶襯底%多晶硅薄膜%等離子體化學氣相沉積法%二次引鋁%低溫製備
다정규대츤저%다정규박막%등리자체화학기상침적법%이차인려%저온제비
本文报道了在廉价的颗粒硅带上用PECVD法并两次引入铝的工艺制备多晶硅薄膜.第一次引入铝是为了去除薄膜上过多的杂质;第二次引入铝是为了实现低温诱导结晶.通过对薄膜样品的拉曼谱和X射线衍射(XRD)谱分析,我们认为金属低温诱导结晶成功与否跟诱导前薄膜的结构密切相关.采用该工艺成功地制备了结晶度92%左右、可应用于太阳能电池的高纯优质多晶硅薄膜.
本文報道瞭在廉價的顆粒硅帶上用PECVD法併兩次引入鋁的工藝製備多晶硅薄膜.第一次引入鋁是為瞭去除薄膜上過多的雜質;第二次引入鋁是為瞭實現低溫誘導結晶.通過對薄膜樣品的拉曼譜和X射線衍射(XRD)譜分析,我們認為金屬低溫誘導結晶成功與否跟誘導前薄膜的結構密切相關.採用該工藝成功地製備瞭結晶度92%左右、可應用于太暘能電池的高純優質多晶硅薄膜.
본문보도료재렴개적과립규대상용PECVD법병량차인입려적공예제비다정규박막.제일차인입려시위료거제박막상과다적잡질;제이차인입려시위료실현저온유도결정.통과대박막양품적랍만보화X사선연사(XRD)보분석,아문인위금속저온유도결정성공여부근유도전박막적결구밀절상관.채용해공예성공지제비료결정도92%좌우、가응용우태양능전지적고순우질다정규박막.
