中国机械工程
中國機械工程
중국궤계공정
CHINA MECHANICAl ENGINEERING
2005年
14期
1289-1291
,共3页
杨轶%张宁欣%任天令%刘理天
楊軼%張寧訢%任天令%劉理天
양질%장저흔%임천령%류리천
残余应力%基底曲率法%微声学器件%铁电
殘餘應力%基底麯率法%微聲學器件%鐵電
잔여응력%기저곡솔법%미성학기건%철전
采用基底曲率法测量了硅基铁电微声学器件中各层薄膜的残余应力情况,通过调节热氧化的二氧化硅层的厚度,优化了微声学器件中复合膜的残余应力,得到平整的振膜结构,提高了器件的可靠性和成品率.
採用基底麯率法測量瞭硅基鐵電微聲學器件中各層薄膜的殘餘應力情況,通過調節熱氧化的二氧化硅層的厚度,優化瞭微聲學器件中複閤膜的殘餘應力,得到平整的振膜結構,提高瞭器件的可靠性和成品率.
채용기저곡솔법측량료규기철전미성학기건중각층박막적잔여응력정황,통과조절열양화적이양화규층적후도,우화료미성학기건중복합막적잔여응력,득도평정적진막결구,제고료기건적가고성화성품솔.
