微细加工技术
微細加工技術
미세가공기술
MICROFABRICATION TECHNOLOGY
2006年
3期
36-39
,共4页
吴建刚%岳瑞峰%胡欢%曾雪锋%康明%王喆垚%刘理天
吳建剛%嶽瑞峰%鬍歡%曾雪鋒%康明%王喆垚%劉理天
오건강%악서봉%호환%증설봉%강명%왕철요%류리천
超疏水表面%微机械%ICP刻蚀
超疏水錶麵%微機械%ICP刻蝕
초소수표면%미궤계%ICP각식
为了分析超疏水表面的物理特性及应用前景,介绍了粗糙超疏水表面的两种理论模型,提出了一种基于MEMS加工技术的超疏水表面制备工艺,即利用ICP刻蚀工艺制备规则的硅方柱,并用旋转涂覆TeflonR AF1600作为疏水薄膜,制备了疏水特性可控的硅表面.对接触角进行了测量,结果表明,在平整Teflon薄膜表面上,去离子水液滴的本征接触角约为117 °,在边长间距比为10 μm/35 μm的方柱表面上的去离子水液滴显现接触角可达170 °.另处,还给出了为避免Wenzel液滴出现的"安全"设计参数(方柱间距边长比小于2.5),以及一种基于润湿性梯度的微流体操控方案.
為瞭分析超疏水錶麵的物理特性及應用前景,介紹瞭粗糙超疏水錶麵的兩種理論模型,提齣瞭一種基于MEMS加工技術的超疏水錶麵製備工藝,即利用ICP刻蝕工藝製備規則的硅方柱,併用鏇轉塗覆TeflonR AF1600作為疏水薄膜,製備瞭疏水特性可控的硅錶麵.對接觸角進行瞭測量,結果錶明,在平整Teflon薄膜錶麵上,去離子水液滴的本徵接觸角約為117 °,在邊長間距比為10 μm/35 μm的方柱錶麵上的去離子水液滴顯現接觸角可達170 °.另處,還給齣瞭為避免Wenzel液滴齣現的"安全"設計參數(方柱間距邊長比小于2.5),以及一種基于潤濕性梯度的微流體操控方案.
위료분석초소수표면적물리특성급응용전경,개소료조조초소수표면적량충이론모형,제출료일충기우MEMS가공기술적초소수표면제비공예,즉이용ICP각식공예제비규칙적규방주,병용선전도복TeflonR AF1600작위소수박막,제비료소수특성가공적규표면.대접촉각진행료측량,결과표명,재평정Teflon박막표면상,거리자수액적적본정접촉각약위117 °,재변장간거비위10 μm/35 μm적방주표면상적거리자수액적현현접촉각가체170 °.령처,환급출료위피면Wenzel액적출현적"안전"설계삼수(방주간거변장비소우2.5),이급일충기우윤습성제도적미류체조공방안.
