功能材料与器件学报
功能材料與器件學報
공능재료여기건학보
JOURNAL OF FUNCTIONAL MATERIALS AND DEVICES
2006年
4期
264-268
,共5页
AlN薄膜%极化%电学性能
AlN薄膜%極化%電學性能
AlN박막%겁화%전학성능
采用脉冲激光沉积(PLD)技术在硅片上合成了AlN薄膜.X射线衍射(XRD)结果证实制备的AlN薄膜具有(002)择优取向的六方纤锌矿晶体结构,并且结晶质量随Si衬底温度的提高而改善.电流-电压(I-V)、电容-电压(C-V)、极化曲线结果表明室温生长的AlN薄膜的击穿场强约2.5MV/cm,同时呈现明显的极化现象(类铁电),对应矫顽场强为150kV/cm,剩余极化为0.002C/m2.晶态AlN存在较强的自发极化,薄膜中可动电荷密度高,据此提出了动态电荷模型,指出较大的AlN薄膜极化回线是由于可动电荷在电场中的再分布形成的,因而有别于铁电材料.
採用脈遲激光沉積(PLD)技術在硅片上閤成瞭AlN薄膜.X射線衍射(XRD)結果證實製備的AlN薄膜具有(002)擇優取嚮的六方纖鋅礦晶體結構,併且結晶質量隨Si襯底溫度的提高而改善.電流-電壓(I-V)、電容-電壓(C-V)、極化麯線結果錶明室溫生長的AlN薄膜的擊穿場彊約2.5MV/cm,同時呈現明顯的極化現象(類鐵電),對應矯頑場彊為150kV/cm,剩餘極化為0.002C/m2.晶態AlN存在較彊的自髮極化,薄膜中可動電荷密度高,據此提齣瞭動態電荷模型,指齣較大的AlN薄膜極化迴線是由于可動電荷在電場中的再分佈形成的,因而有彆于鐵電材料.
채용맥충격광침적(PLD)기술재규편상합성료AlN박막.X사선연사(XRD)결과증실제비적AlN박막구유(002)택우취향적륙방섬자광정체결구,병차결정질량수Si츤저온도적제고이개선.전류-전압(I-V)、전용-전압(C-V)、겁화곡선결과표명실온생장적AlN박막적격천장강약2.5MV/cm,동시정현명현적겁화현상(류철전),대응교완장강위150kV/cm,잉여겁화위0.002C/m2.정태AlN존재교강적자발겁화,박막중가동전하밀도고,거차제출료동태전하모형,지출교대적AlN박막겁화회선시유우가동전하재전장중적재분포형성적,인이유별우철전재료.
