重庆大学学报（自然科学版）
重慶大學學報（自然科學版）
중경대학학보（자연과학판）
JOURNAL OF CHONGQING UNIVERSITY(NATURAL SCIENCE EDITION)
2006年
8期
138-140,145
,共4页
原子力显微镜%TiN薄膜%聚酰亚胺%微观结构
原子力顯微鏡%TiN薄膜%聚酰亞胺%微觀結構
원자력현미경%TiN박막%취선아알%미관결구
论述了一种高精度的原子力显微镜AFM.IPC-208B型机在分子形态学方面的应用,以磁控溅射获得的TiN薄膜和普通的聚酰亚胺纤维为例,从原子力显微镜测得的三维图上探析该TiN薄膜的优先生长面及其在优先生长面上的原子排布和聚酰亚胺的表面形态.这种实验不仅鉴定了测试材料的微观形态,也充分肯定了该原子力显微镜原子量级的精度及其在微观结构领域的潜在发展,为该机应用于微加工领域奠定了基础.
論述瞭一種高精度的原子力顯微鏡AFM.IPC-208B型機在分子形態學方麵的應用,以磁控濺射穫得的TiN薄膜和普通的聚酰亞胺纖維為例,從原子力顯微鏡測得的三維圖上探析該TiN薄膜的優先生長麵及其在優先生長麵上的原子排佈和聚酰亞胺的錶麵形態.這種實驗不僅鑒定瞭測試材料的微觀形態,也充分肯定瞭該原子力顯微鏡原子量級的精度及其在微觀結構領域的潛在髮展,為該機應用于微加工領域奠定瞭基礎.
논술료일충고정도적원자력현미경AFM.IPC-208B형궤재분자형태학방면적응용,이자공천사획득적TiN박막화보통적취선아알섬유위례,종원자력현미경측득적삼유도상탐석해TiN박막적우선생장면급기재우선생장면상적원자배포화취선아알적표면형태.저충실험불부감정료측시재료적미관형태,야충분긍정료해원자력현미경원자량급적정도급기재미관결구영역적잠재발전,위해궤응용우미가공영역전정료기출.
