真空
真空
진공
VACUUM
2007年
1期
29-31
,共3页
李强%吴先映%张荟星%刘安东%彭建华%王桂岳
李彊%吳先映%張薈星%劉安東%彭建華%王桂嶽
리강%오선영%장회성%류안동%팽건화%왕계악
金属蒸汽真空弧%离子注入%0°定位%45°定位%注入均匀性
金屬蒸汽真空弧%離子註入%0°定位%45°定位%註入均勻性
금속증기진공호%리자주입%0°정위%45°정위%주입균균성
提高金属蒸汽真空弧(Metal Vapor Vacuum Arc, MEVVA)离子源注入机的注入效率,大幅度降低注入成本是MEVVA源离子注入技术实用化的关键.为此开展了100型MEVVA源注入机大批量的工件注入均匀性的研究.本文介绍了100型MEVVA源注入机的靶室结构和靶盘分布,研究了0°定位自转、靶盘公转自转、45°定位自转的注入离子浓度分布.这三种方式的注入离子浓度分布都不能满足大批量均匀注入的需要.但45°定位自转的注入离子浓度分布的趋势与另两种相反,这意味着将45°定位自转与0°定位自转或靶盘公转自转相结合进行复合注入,可以得到均匀的注入效果.通过对几种注入方式的拟合计算来确定复合注入的注入比例.最后通过实验研究了靶盘不同运动状态的复合注入,得到了相当均匀的注入效果.
提高金屬蒸汽真空弧(Metal Vapor Vacuum Arc, MEVVA)離子源註入機的註入效率,大幅度降低註入成本是MEVVA源離子註入技術實用化的關鍵.為此開展瞭100型MEVVA源註入機大批量的工件註入均勻性的研究.本文介紹瞭100型MEVVA源註入機的靶室結構和靶盤分佈,研究瞭0°定位自轉、靶盤公轉自轉、45°定位自轉的註入離子濃度分佈.這三種方式的註入離子濃度分佈都不能滿足大批量均勻註入的需要.但45°定位自轉的註入離子濃度分佈的趨勢與另兩種相反,這意味著將45°定位自轉與0°定位自轉或靶盤公轉自轉相結閤進行複閤註入,可以得到均勻的註入效果.通過對幾種註入方式的擬閤計算來確定複閤註入的註入比例.最後通過實驗研究瞭靶盤不同運動狀態的複閤註入,得到瞭相噹均勻的註入效果.
제고금속증기진공호(Metal Vapor Vacuum Arc, MEVVA)리자원주입궤적주입효솔,대폭도강저주입성본시MEVVA원리자주입기술실용화적관건.위차개전료100형MEVVA원주입궤대비량적공건주입균균성적연구.본문개소료100형MEVVA원주입궤적파실결구화파반분포,연구료0°정위자전、파반공전자전、45°정위자전적주입리자농도분포.저삼충방식적주입리자농도분포도불능만족대비량균균주입적수요.단45°정위자전적주입리자농도분포적추세여령량충상반,저의미착장45°정위자전여0°정위자전혹파반공전자전상결합진행복합주입,가이득도균균적주입효과.통과대궤충주입방식적의합계산래학정복합주입적주입비례.최후통과실험연구료파반불동운동상태적복합주입,득도료상당균균적주입효과.
