功能材料
功能材料
공능재료
JOURNAL OF FUNCTIONAL MATERIALS
2008年
10期
1618-1621
,共4页
王怀义%刁训刚%王武育%杨海刚%丁破%郝维昌%王天民
王懷義%刁訓剛%王武育%楊海剛%丁破%郝維昌%王天民
왕부의%조훈강%왕무육%양해강%정파%학유창%왕천민
磁控溅射%纳米微晶%NiOx薄膜
磁控濺射%納米微晶%NiOx薄膜
자공천사%납미미정%NiOx박막
利用自行设计的基片液氮低温冷却装置,用金属Ni靶在Ar+O2气氛反应条件下,利用磁控溅射制备纳米微晶结构NiOx膜的方法,薄膜的XRD谱和扫描电子显微图像(SEM)表明,该方法实现了在溅射参数完全相同的条件,纳米NiOx薄膜结构连续可控、可调节.
利用自行設計的基片液氮低溫冷卻裝置,用金屬Ni靶在Ar+O2氣氛反應條件下,利用磁控濺射製備納米微晶結構NiOx膜的方法,薄膜的XRD譜和掃描電子顯微圖像(SEM)錶明,該方法實現瞭在濺射參數完全相同的條件,納米NiOx薄膜結構連續可控、可調節.
이용자행설계적기편액담저온냉각장치,용금속Ni파재Ar+O2기분반응조건하,이용자공천사제비납미미정결구NiOx막적방법,박막적XRD보화소묘전자현미도상(SEM)표명,해방법실현료재천사삼수완전상동적조건,납미NiOx박막결구련속가공、가조절.
