无机材料学报
無機材料學報
무궤재료학보
JOURNAL OF INORGANIC MATERIALS
2009年
5期
962-966
,共5页
廖家轩%魏雄邦%潘笑风%张佳%傅向军%王洪全
廖傢軒%魏雄邦%潘笑風%張佳%傅嚮軍%王洪全
료가헌%위웅방%반소풍%장가%부향군%왕홍전
中间热处理%交替中间热处理%钛酸锶钡薄膜%介电性能
中間熱處理%交替中間熱處理%鈦痠鍶鋇薄膜%介電性能
중간열처리%교체중간열처리%태산송패박막%개전성능
用溶胶凝胶(Sol-Gel)法制备了三种钛酸锶钡(Ba0.6Sr0.4TiO3,BST)薄膜:常规的四层薄膜,在逐层制备过程中,对首层薄膜进行中间热处理(Preheat-treatment,PT)的四层薄膜及间隔或交替地对奇数层薄膜进行中间热处理(称为交替中间热处理(Alternate-preheat-treatment,APT))的八层薄膜. 用XPS研究薄膜表面成分化学态,用SEM和AFM观察表面形貌及晶化,并进行了介电性能测试. 结果表明,常规薄膜介电性能差;经PT,薄膜裂纹和缩孔显著减少,形貌明显改善,表面非钙钛矿结构显著减少,介电性能明显提高;经APT,薄膜形貌进一步改善,平均晶粒大小约30nm,非钙钛矿结构进一步减少,介电损耗明显降低,介电稳定性和介电强度大幅度提高. APT为制备退火温度低及结构均匀致密的纳米晶BST薄膜提供了新方法,可满足低频实用要求. 退火温度对薄膜厚度的影响也进行了讨论.
用溶膠凝膠(Sol-Gel)法製備瞭三種鈦痠鍶鋇(Ba0.6Sr0.4TiO3,BST)薄膜:常規的四層薄膜,在逐層製備過程中,對首層薄膜進行中間熱處理(Preheat-treatment,PT)的四層薄膜及間隔或交替地對奇數層薄膜進行中間熱處理(稱為交替中間熱處理(Alternate-preheat-treatment,APT))的八層薄膜. 用XPS研究薄膜錶麵成分化學態,用SEM和AFM觀察錶麵形貌及晶化,併進行瞭介電性能測試. 結果錶明,常規薄膜介電性能差;經PT,薄膜裂紋和縮孔顯著減少,形貌明顯改善,錶麵非鈣鈦礦結構顯著減少,介電性能明顯提高;經APT,薄膜形貌進一步改善,平均晶粒大小約30nm,非鈣鈦礦結構進一步減少,介電損耗明顯降低,介電穩定性和介電彊度大幅度提高. APT為製備退火溫度低及結構均勻緻密的納米晶BST薄膜提供瞭新方法,可滿足低頻實用要求. 退火溫度對薄膜厚度的影響也進行瞭討論.
용용효응효(Sol-Gel)법제비료삼충태산송패(Ba0.6Sr0.4TiO3,BST)박막:상규적사층박막,재축층제비과정중,대수층박막진행중간열처리(Preheat-treatment,PT)적사층박막급간격혹교체지대기수층박막진행중간열처리(칭위교체중간열처리(Alternate-preheat-treatment,APT))적팔층박막. 용XPS연구박막표면성분화학태,용SEM화AFM관찰표면형모급정화,병진행료개전성능측시. 결과표명,상규박막개전성능차;경PT,박막렬문화축공현저감소,형모명현개선,표면비개태광결구현저감소,개전성능명현제고;경APT,박막형모진일보개선,평균정립대소약30nm,비개태광결구진일보감소,개전손모명현강저,개전은정성화개전강도대폭도제고. APT위제비퇴화온도저급결구균균치밀적납미정BST박막제공료신방법,가만족저빈실용요구. 퇴화온도대박막후도적영향야진행료토론.
