微纳电子技术
微納電子技術
미납전자기술
MICRONANOELECTRONIC TECHNOLOGY
2011年
3期
189-193
,共5页
吕树海%杨拥军%徐淑静%张旭辉
呂樹海%楊擁軍%徐淑靜%張旭輝
려수해%양옹군%서숙정%장욱휘
微电子机械系统(MEMS)%温度传感器%加速度%角速率%热对流
微電子機械繫統(MEMS)%溫度傳感器%加速度%角速率%熱對流
미전자궤계계통(MEMS)%온도전감기%가속도%각속솔%열대류
介绍了一种全新的MEMS微型惯性器件,该器件是一种基于热对流原理的热膜式传感器,它利用一个单敏感元件同时测量加速度和角速率.该器件由一个加热器和两组微型温度传感器组成,加热器加热气体形成的热对流气体作为敏感元件,该器件通过微型温度传感器测得的热对流气体的温度差实现加速度和角速率的测量.分析了器件的工作原理,根据仿真结果设计了双层的器件结构,进行了工艺开发,加工出了原理样机.测试表明:该器件同时具备了加速度传感器和角速率传感器的检测功能,很好地验证了设计的可行性.
介紹瞭一種全新的MEMS微型慣性器件,該器件是一種基于熱對流原理的熱膜式傳感器,它利用一箇單敏感元件同時測量加速度和角速率.該器件由一箇加熱器和兩組微型溫度傳感器組成,加熱器加熱氣體形成的熱對流氣體作為敏感元件,該器件通過微型溫度傳感器測得的熱對流氣體的溫度差實現加速度和角速率的測量.分析瞭器件的工作原理,根據倣真結果設計瞭雙層的器件結構,進行瞭工藝開髮,加工齣瞭原理樣機.測試錶明:該器件同時具備瞭加速度傳感器和角速率傳感器的檢測功能,很好地驗證瞭設計的可行性.
개소료일충전신적MEMS미형관성기건,해기건시일충기우열대류원리적열막식전감기,타이용일개단민감원건동시측량가속도화각속솔.해기건유일개가열기화량조미형온도전감기조성,가열기가열기체형성적열대류기체작위민감원건,해기건통과미형온도전감기측득적열대류기체적온도차실현가속도화각속솔적측량.분석료기건적공작원리,근거방진결과설계료쌍층적기건결구,진행료공예개발,가공출료원리양궤.측시표명:해기건동시구비료가속도전감기화각속솔전감기적검측공능,흔호지험증료설계적가행성.
