光学技术
光學技術
광학기술
OPTICAL TECHNOLOGY
2005年
1期
139-141
,共3页
形貌检测%傅里叶变换%相位分布%相位去包裹%双频光栅
形貌檢測%傅裏葉變換%相位分佈%相位去包裹%雙頻光柵
형모검측%부리협변환%상위분포%상위거포과%쌍빈광책
在投影栅相位法轮廓检测中,当物体含突变部分时,包裹相位很难准确恢复,对此可用双频变精度技术来解决.如果用两种不同频率光栅分两次进行测量,无疑增加了测量负担,也无法满足实时检测的要求.提出用软件生成两种不同频率成分的复合正弦光栅,用液晶投影仪投影,针对不同物体具体突变部分的情况,可灵活生成各种不同灵敏度的复合光栅.只采一次图像就可以达到以往双频技术中多次采集的效果,该法具有快速和去包裹精度高的特点.最后,进行了实验测试,结果非常满意.
在投影柵相位法輪廓檢測中,噹物體含突變部分時,包裹相位很難準確恢複,對此可用雙頻變精度技術來解決.如果用兩種不同頻率光柵分兩次進行測量,無疑增加瞭測量負擔,也無法滿足實時檢測的要求.提齣用軟件生成兩種不同頻率成分的複閤正絃光柵,用液晶投影儀投影,針對不同物體具體突變部分的情況,可靈活生成各種不同靈敏度的複閤光柵.隻採一次圖像就可以達到以往雙頻技術中多次採集的效果,該法具有快速和去包裹精度高的特點.最後,進行瞭實驗測試,結果非常滿意.
재투영책상위법륜곽검측중,당물체함돌변부분시,포과상위흔난준학회복,대차가용쌍빈변정도기술래해결.여과용량충불동빈솔광책분량차진행측량,무의증가료측량부담,야무법만족실시검측적요구.제출용연건생성량충불동빈솔성분적복합정현광책,용액정투영의투영,침대불동물체구체돌변부분적정황,가령활생성각충불동령민도적복합광책.지채일차도상취가이체도이왕쌍빈기술중다차채집적효과,해법구유쾌속화거포과정도고적특점.최후,진행료실험측시,결과비상만의.