微纳米复合金刚石自支撑膜的制备及微观结构的研究
미납미복합금강석자지탱막적제비급미관결구적연구
Deposition of Micro/Nano Composite Multilayered Free-standing Diamond Film and Investigation of Its Microstructure
  • 万方数据
    人工晶体学报 인공정체학보

    2008年 2期 446-449 ,共4页

    薛前进%黄玲%陈广超%李彬%唐伟忠%李成明%宋建华%黑立富%佟玉梅

    설전진%황령%진엄초%리빈%당위충%리성명%송건화%흑립부%동옥매

    化学气相沉积%自支撑金刚石膜%多层结构%微观结构%聚焦离子束(FIB) 化學氣相沉積%自支撐金剛石膜%多層結構%微觀結構%聚焦離子束(FIB)
    화학기상침적%자지탱금강석막%다층결구%미관결구%취초리자속(FIB)
    在30 kW级直流电弧等离子喷射化学气相沉积装置下,采用Ar-H2-CH4混合气体,通过控制工艺参数,在多晶钼衬底上制备了微纳米复合多层金刚石自支撑膜.采用拉曼光谱对其进行成份分析、SEM观察膜体表面形貌,采用聚焦离子束(FIB)技术对其进行原位刻蚀,用高分辨电镜观察对其进行微观表征.结果显示,同普通微米膜相比,多层膜体是由微米晶金刚石层和纳米晶金刚石层组成,表面光滑,微米层与纳米层间具有相互嵌套式的界面,微/纳米复合多层金刚石自支撑膜中包含有纳米级金刚石晶粒、微米级金刚石晶粒和无定形碳.
    재30 kW급직류전호등리자분사화학기상침적장치하,채용Ar-H2-CH4혼합기체,통과공제공예삼수,재다정목츤저상제비료미납미복합다층금강석자지탱막.채용랍만광보대기진행성빈분석、SEM관찰막체표면형모,채용취초리자속(FIB)기술대기진행원위각식,용고분변전경관찰대기진행미관표정.결과현시,동보통미미막상비,다층막체시유미미정금강석층화납미정금강석층조성,표면광활,미미층여납미층간구유상호감투식적계면,미/납미복합다층금강석자지탱막중포함유납미급금강석정립、미미급금강석정립화무정형탄.
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