太阳能学报
太暘能學報
태양능학보
ACTA ENERGIAE SOLARIS SINICA
2009年
6期
784-787
,共4页
姚剑%蔡万华%席珍强%徐敏%杜平凡%王龙成
姚劍%蔡萬華%席珍彊%徐敏%杜平凡%王龍成
요검%채만화%석진강%서민%두평범%왕룡성
硅%太阳电池%铝背场%快速热处理
硅%太暘電池%鋁揹場%快速熱處理
규%태양전지%려배장%쾌속열처리
分别采用常规和快速热处理在800℃制备了单晶硅太阳电池的铝背场,并利用扩展电阻、X射线衍射和扫描电镜研究了铝背场的载流子浓度分布、铝硅相的组成和表面形貌.载流子浓度分布显示,快速热处理40s就能在硅片表面形成约7μm的背场,达到常规热处理20min的效果.X射线衍射分析和扫描电镜观察发现,快速热处理与常规热处理都能够在硅片背面形成Al3.21Si0.47相,但是快速热处理后形成了致密的铝硅合金,而常规热处理处理后表面依然呈颗粒分布.这些实验结果表明,快速热处理不仅促进铝在硅中的扩散从而能够在很短的时间形成铝背场,而且还能够同时促进铝硅合金化,形成良好的背电极.
分彆採用常規和快速熱處理在800℃製備瞭單晶硅太暘電池的鋁揹場,併利用擴展電阻、X射線衍射和掃描電鏡研究瞭鋁揹場的載流子濃度分佈、鋁硅相的組成和錶麵形貌.載流子濃度分佈顯示,快速熱處理40s就能在硅片錶麵形成約7μm的揹場,達到常規熱處理20min的效果.X射線衍射分析和掃描電鏡觀察髮現,快速熱處理與常規熱處理都能夠在硅片揹麵形成Al3.21Si0.47相,但是快速熱處理後形成瞭緻密的鋁硅閤金,而常規熱處理處理後錶麵依然呈顆粒分佈.這些實驗結果錶明,快速熱處理不僅促進鋁在硅中的擴散從而能夠在很短的時間形成鋁揹場,而且還能夠同時促進鋁硅閤金化,形成良好的揹電極.
분별채용상규화쾌속열처리재800℃제비료단정규태양전지적려배장,병이용확전전조、X사선연사화소묘전경연구료려배장적재류자농도분포、려규상적조성화표면형모.재류자농도분포현시,쾌속열처리40s취능재규편표면형성약7μm적배장,체도상규열처리20min적효과.X사선연사분석화소묘전경관찰발현,쾌속열처리여상규열처리도능구재규편배면형성Al3.21Si0.47상,단시쾌속열처리후형성료치밀적려규합금,이상규열처리처리후표면의연정과립분포.저사실험결과표명,쾌속열처리불부촉진려재규중적확산종이능구재흔단적시간형성려배장,이차환능구동시촉진려규합금화,형성량호적배전겁.
