仪器仪表学报
儀器儀錶學報
의기의표학보
CHINESE JOURNAL OF SCIENTIFIC INSTRUMENT
2009年
9期
1940-1945
,共6页
张国军%陈尚%薛晨阳%乔慧%张开锐
張國軍%陳尚%薛晨暘%喬慧%張開銳
장국군%진상%설신양%교혜%장개예
二维加速度计%压阻效应%MEMS%ANSYS
二維加速度計%壓阻效應%MEMS%ANSYS
이유가속도계%압조효응%MEMS%ANSYS
以压阻检测技术为基础并结合硅微MEMS加工技术设计了一种二维加速度计微结构,期望利用该新型的结构提高加速度计的灵敏度,实现二维方向的加速度检测.该加速度计采用四个相互垂直的悬臂梁支撑中间有刚硬柱体的结构,通过利用合理布置的压敏电阻构成的惠斯通电桥测量水平面内两个方向的加速度.建立了该结构的数学模型并用有限元分析软件ANSYS对敏感弹性元件进行分析.最后对加工出的加速度计进行了相关的测试.测试结果表明:该加速度计水平面内两个方向的灵敏度高、线形度较好,X向灵敏度为0.755 2 mv/g,线性度为0.999 67,Y向灵敏度为0.683 3 mv/g,线性度为0.999 66.
以壓阻檢測技術為基礎併結閤硅微MEMS加工技術設計瞭一種二維加速度計微結構,期望利用該新型的結構提高加速度計的靈敏度,實現二維方嚮的加速度檢測.該加速度計採用四箇相互垂直的懸臂樑支撐中間有剛硬柱體的結構,通過利用閤理佈置的壓敏電阻構成的惠斯通電橋測量水平麵內兩箇方嚮的加速度.建立瞭該結構的數學模型併用有限元分析軟件ANSYS對敏感彈性元件進行分析.最後對加工齣的加速度計進行瞭相關的測試.測試結果錶明:該加速度計水平麵內兩箇方嚮的靈敏度高、線形度較好,X嚮靈敏度為0.755 2 mv/g,線性度為0.999 67,Y嚮靈敏度為0.683 3 mv/g,線性度為0.999 66.
이압조검측기술위기출병결합규미MEMS가공기술설계료일충이유가속도계미결구,기망이용해신형적결구제고가속도계적령민도,실현이유방향적가속도검측.해가속도계채용사개상호수직적현비량지탱중간유강경주체적결구,통과이용합리포치적압민전조구성적혜사통전교측량수평면내량개방향적가속도.건립료해결구적수학모형병용유한원분석연건ANSYS대민감탄성원건진행분석.최후대가공출적가속도계진행료상관적측시.측시결과표명:해가속도계수평면내량개방향적령민도고、선형도교호,X향령민도위0.755 2 mv/g,선성도위0.999 67,Y향령민도위0.683 3 mv/g,선성도위0.999 66.
