工业计量
工業計量
공업계량
INDUSTRIAL MEASUREMENT
2010年
5期
10-13
,共4页
光电显微镜%长度光栅测量系统%误差%误差修正
光電顯微鏡%長度光柵測量繫統%誤差%誤差脩正
광전현미경%장도광책측량계통%오차%오차수정
文章针对长度光栅测量系统的误差来源、特点提出了二次比对、拟合的修正方法.在文章所论述的方法中,通过光电显微镜、线纹尺、数据拟合工具将光栅位移长度溯源到激光波长;将生成的修正公式赋进长度光栅测量系统的程序中完成误差自动修正.文章提出的光栅测长系统的误差修正方法原理简单、实用、修正精度高.对于三坐标测量机、测长机、万工显等精密直线位移平台都具有借鉴和参考价值.
文章針對長度光柵測量繫統的誤差來源、特點提齣瞭二次比對、擬閤的脩正方法.在文章所論述的方法中,通過光電顯微鏡、線紋呎、數據擬閤工具將光柵位移長度溯源到激光波長;將生成的脩正公式賦進長度光柵測量繫統的程序中完成誤差自動脩正.文章提齣的光柵測長繫統的誤差脩正方法原理簡單、實用、脩正精度高.對于三坐標測量機、測長機、萬工顯等精密直線位移平檯都具有藉鑒和參攷價值.
문장침대장도광책측량계통적오차래원、특점제출료이차비대、의합적수정방법.재문장소논술적방법중,통과광전현미경、선문척、수거의합공구장광책위이장도소원도격광파장;장생성적수정공식부진장도광책측량계통적정서중완성오차자동수정.문장제출적광책측장계통적오차수정방법원리간단、실용、수정정도고.대우삼좌표측량궤、측장궤、만공현등정밀직선위이평태도구유차감화삼고개치.
