仪表技术与传感器
儀錶技術與傳感器
의표기술여전감기
INSTRUMENT TECHNIQUE AND SENSOR
2010年
6期
94-96
,共3页
光强调制%椭圆拟合%PSD%带通滤液
光彊調製%橢圓擬閤%PSD%帶通濾液
광강조제%타원의합%PSD%대통려액
为了实现对微小位置信号的精密测量,建立了PSD位置检测系统.对该系统的光强调制方法、测量原理、位置测量算法及误差评估进行了研究.实验发现当信号光强微弱时,位置敏感器件(PSD)受背景光强影响很大.采用正弦调制光强,通过带通放大的方式,克服背景光强的影响,极大地提高了测量系统的信噪比.针对所提取的PSD光强差与和信号均为调制频率信号,且幅值与相差由光斑位置决定的特点,提出应用同步A/D与椭圆拟合法计算光斑位置的方法,并对相关计算公式进行了理论推导.实验结果表明:在测量范围达到9 mm的条件下,测量精度可达到0.01 mm.基本满足PSD位置检测方法的稳定可靠、测量精度高、抗干扰能力强等要求.
為瞭實現對微小位置信號的精密測量,建立瞭PSD位置檢測繫統.對該繫統的光彊調製方法、測量原理、位置測量算法及誤差評估進行瞭研究.實驗髮現噹信號光彊微弱時,位置敏感器件(PSD)受揹景光彊影響很大.採用正絃調製光彊,通過帶通放大的方式,剋服揹景光彊的影響,極大地提高瞭測量繫統的信譟比.針對所提取的PSD光彊差與和信號均為調製頻率信號,且幅值與相差由光斑位置決定的特點,提齣應用同步A/D與橢圓擬閤法計算光斑位置的方法,併對相關計算公式進行瞭理論推導.實驗結果錶明:在測量範圍達到9 mm的條件下,測量精度可達到0.01 mm.基本滿足PSD位置檢測方法的穩定可靠、測量精度高、抗榦擾能力彊等要求.
위료실현대미소위치신호적정밀측량,건립료PSD위치검측계통.대해계통적광강조제방법、측량원리、위치측량산법급오차평고진행료연구.실험발현당신호광강미약시,위치민감기건(PSD)수배경광강영향흔대.채용정현조제광강,통과대통방대적방식,극복배경광강적영향,겁대지제고료측량계통적신조비.침대소제취적PSD광강차여화신호균위조제빈솔신호,차폭치여상차유광반위치결정적특점,제출응용동보A/D여타원의합법계산광반위치적방법,병대상관계산공식진행료이론추도.실험결과표명:재측량범위체도9 mm적조건하,측량정도가체도0.01 mm.기본만족PSD위치검측방법적은정가고、측량정도고、항간우능력강등요구.
