中国有色金属学报
中國有色金屬學報
중국유색금속학보
THE CHINESE JOURNAL OF NONFERROUS METALS
2004年
12期
1985-1989
,共5页
马胜利%马青松%牛新平%徐可为%P Karvankova%S Veprek
馬勝利%馬青鬆%牛新平%徐可為%P Karvankova%S Veprek
마성리%마청송%우신평%서가위%P Karvankova%S Veprek
射频等离子体辅助化学气相沿积%Ti-B-N薄膜%硬度%耐磨性
射頻等離子體輔助化學氣相沿積%Ti-B-N薄膜%硬度%耐磨性
사빈등리자체보조화학기상연적%Ti-B-N박막%경도%내마성
研究了射频等离子体辅助化学气相沉积获得的Ti-B-N薄膜的微观组织结构和力学性能.结果表明:B的加入使Ti-B-N薄膜中出现TiN纳米晶、BN非晶和TiB2非晶(nc-TiN/a-BN/a-TiB2)的复相结构.Ti-B-N薄膜组织致密,晶粒细小,薄膜硬度显著提高.用球盘式磨损实验考察了薄膜的摩擦学特性.与TiN相比,Ti-B-N薄膜抗磨损性能有显著提高,磨损机制为微观切削与疲劳磨损共同作用,但摩擦系数较TiN稍高.
研究瞭射頻等離子體輔助化學氣相沉積穫得的Ti-B-N薄膜的微觀組織結構和力學性能.結果錶明:B的加入使Ti-B-N薄膜中齣現TiN納米晶、BN非晶和TiB2非晶(nc-TiN/a-BN/a-TiB2)的複相結構.Ti-B-N薄膜組織緻密,晶粒細小,薄膜硬度顯著提高.用毬盤式磨損實驗攷察瞭薄膜的摩抆學特性.與TiN相比,Ti-B-N薄膜抗磨損性能有顯著提高,磨損機製為微觀切削與疲勞磨損共同作用,但摩抆繫數較TiN稍高.
연구료사빈등리자체보조화학기상침적획득적Ti-B-N박막적미관조직결구화역학성능.결과표명:B적가입사Ti-B-N박막중출현TiN납미정、BN비정화TiB2비정(nc-TiN/a-BN/a-TiB2)적복상결구.Ti-B-N박막조직치밀,정립세소,박막경도현저제고.용구반식마손실험고찰료박막적마찰학특성.여TiN상비,Ti-B-N박막항마손성능유현저제고,마손궤제위미관절삭여피로마손공동작용,단마찰계수교TiN초고.
