光通信研究
光通信研究
광통신연구
STUDY ON OPTICAL COMMUNICATIONS
2005年
5期
68-70
,共3页
陈思乡%江征风%胡业发%刘文
陳思鄉%江徵風%鬍業髮%劉文
진사향%강정풍%호업발%류문
平面光波导%SiO2波导%等离子体增强化学汽相沉积
平麵光波導%SiO2波導%等離子體增彊化學汽相沉積
평면광파도%SiO2파도%등리자체증강화학기상침적
研究了等离子体增强化学汽相沉积(PECVD)的光波导膜层的光学特性,论述了沉积工艺参量和退火处理对膜层性能的影响,优化工艺获得了高质量的波导膜层,成功设计制作了在1 550nm中心波长损耗低于0.1db/cm的平面光波导和阵列波导光栅(AWG)器件.
研究瞭等離子體增彊化學汽相沉積(PECVD)的光波導膜層的光學特性,論述瞭沉積工藝參量和退火處理對膜層性能的影響,優化工藝穫得瞭高質量的波導膜層,成功設計製作瞭在1 550nm中心波長損耗低于0.1db/cm的平麵光波導和陣列波導光柵(AWG)器件.
연구료등리자체증강화학기상침적(PECVD)적광파도막층적광학특성,논술료침적공예삼량화퇴화처리대막층성능적영향,우화공예획득료고질량적파도막층,성공설계제작료재1 550nm중심파장손모저우0.1db/cm적평면광파도화진렬파도광책(AWG)기건.
