CAJ | 학술논문

针对超轻超薄反射镜(超薄镜)径厚比大,自身刚度小、单独加工难度大的问题,采用基底支撑方式对超薄镜进行加工.我们研究了在加工过程中粘接,温度、应力等因素所导致的超薄镜变形的控制手段并对变形控制效果提出了评判方法.通过195 mm口径超薄铣工艺实验对控制变形的工艺进行改进,用改进后的加工工艺进行了340 mm口径的超薄镜制造,得到了比较理想的面形,下盘后PV值5.74λ,RMS值1.02λ(λ=632.8 nm).这表明在超薄镜制造过程中变形控制的技术方案可行,工艺改进方向正确.同时,实验结果表明,超薄镜制造过程中的变形最终表现为镜面出现非重力因素引起的像散.
침대초경초박반사경(초박경)경후비대,자신강도소、단독가공난도대적문제,채용기저지탱방식대초박경진행가공.아문연구료재가공과정중점접,온도、응력등인소소도치적초박경변형적공제수단병대변형공제효과제출료평판방법.통과195 mm구경초박선공예실험대공제변형적공예진행개진,용개진후적가공공예진행료340 mm구경적초박경제조,득도료비교이상적면형,하반후PV치5.74λ,RMS치1.02λ(λ=632.8 nm).저표명재초박경제조과정중변형공제적기술방안가행,공예개진방향정학.동시,실험결과표명,초박경제조과정중적변형최종표현위경면출현비중력인소인기적상산.