传感技术学报
傳感技術學報
전감기술학보
Journal of Transduction Technology
2006年
5期
1881-1884
,共4页
贺训军%吴群%金博识%宋明歆%殷景华
賀訓軍%吳群%金博識%宋明歆%慇景華
하훈군%오군%금박식%송명흠%은경화
分布式移相器%电容开关%驱动电压%响应时间%释放时间%振动模式
分佈式移相器%電容開關%驅動電壓%響應時間%釋放時間%振動模式
분포식이상기%전용개관%구동전압%향응시간%석방시간%진동모식
通过分析MEMS电容开关的工作原理,设计出一种适合分布式射频MEMS移相器电路的新型电容开关.采用Intel lisuiteTM软件优化电容开关的驱动电压、响应时间、释放时间和机械振动模式.结果表明,开关驱动电压为2.5 V、响应时间小于30μs,释放时间大于60 μs和所有振动模式固有频率都大于15 KHz.与普通开关结构比较,该新型电容开关结构具有优越射频机电性能和响应时间,同时也对电容开关的制备工艺进行分析.
通過分析MEMS電容開關的工作原理,設計齣一種適閤分佈式射頻MEMS移相器電路的新型電容開關.採用Intel lisuiteTM軟件優化電容開關的驅動電壓、響應時間、釋放時間和機械振動模式.結果錶明,開關驅動電壓為2.5 V、響應時間小于30μs,釋放時間大于60 μs和所有振動模式固有頻率都大于15 KHz.與普通開關結構比較,該新型電容開關結構具有優越射頻機電性能和響應時間,同時也對電容開關的製備工藝進行分析.
통과분석MEMS전용개관적공작원리,설계출일충괄합분포식사빈MEMS이상기전로적신형전용개관.채용Intel lisuiteTM연건우화전용개관적구동전압、향응시간、석방시간화궤계진동모식.결과표명,개관구동전압위2.5 V、향응시간소우30μs,석방시간대우60 μs화소유진동모식고유빈솔도대우15 KHz.여보통개관결구비교,해신형전용개관결구구유우월사빈궤전성능화향응시간,동시야대전용개관적제비공예진행분석.
