新技术新工艺
新技術新工藝
신기술신공예
NEW TECHNOLOGY & NEW PROCESS
2010年
6期
63-66
,共4页
TiN薄膜%CrN薄膜%不同介质%摩擦学特性
TiN薄膜%CrN薄膜%不同介質%摩抆學特性
TiN박막%CrN박막%불동개질%마찰학특성
采用直流叠加脉冲偏压电孤离子镀技术在45钢表面沉积了TiN、CrN薄膜.用显微硬度计测试了薄膜的硬度,用划痕仪测量了薄膜的膜基结合力,用球-盘式摩擦磨损试验机评价了不同介质条件下(干摩擦、水润滑、油润滑)TiN、CrN薄膜的摩擦学特性,用表面轮廓仪测试了薄膜磨痕处的磨损轮廓,用扫描电镜(SEM)观察了薄膜磨痕形貌.结果表明,相对于干摩擦条件下,在水润滑和油润滑条件下TiN和CrN薄膜的摩擦因数和磨痕深度都有所降低.在相同的介质条件下,CrN薄膜的摩擦因数和磨痕深度始终小于TiN薄膜.
採用直流疊加脈遲偏壓電孤離子鍍技術在45鋼錶麵沉積瞭TiN、CrN薄膜.用顯微硬度計測試瞭薄膜的硬度,用劃痕儀測量瞭薄膜的膜基結閤力,用毬-盤式摩抆磨損試驗機評價瞭不同介質條件下(榦摩抆、水潤滑、油潤滑)TiN、CrN薄膜的摩抆學特性,用錶麵輪廓儀測試瞭薄膜磨痕處的磨損輪廓,用掃描電鏡(SEM)觀察瞭薄膜磨痕形貌.結果錶明,相對于榦摩抆條件下,在水潤滑和油潤滑條件下TiN和CrN薄膜的摩抆因數和磨痕深度都有所降低.在相同的介質條件下,CrN薄膜的摩抆因數和磨痕深度始終小于TiN薄膜.
채용직류첩가맥충편압전고리자도기술재45강표면침적료TiN、CrN박막.용현미경도계측시료박막적경도,용화흔의측량료박막적막기결합력,용구-반식마찰마손시험궤평개료불동개질조건하(간마찰、수윤활、유윤활)TiN、CrN박막적마찰학특성,용표면륜곽의측시료박막마흔처적마손륜곽,용소묘전경(SEM)관찰료박막마흔형모.결과표명,상대우간마찰조건하,재수윤활화유윤활조건하TiN화CrN박막적마찰인수화마흔심도도유소강저.재상동적개질조건하,CrN박막적마찰인수화마흔심도시종소우TiN박막.
