计量学报
計量學報
계량학보
ACTA METROLOGICA SINICA
2010年
z2期
187-190
,共4页
束小梅%左勇%徐晓波%包玲
束小梅%左勇%徐曉波%包玲
속소매%좌용%서효파%포령
计量学%长光栅%误差%修正方法%光电显微镜%激光波长%线纹尺
計量學%長光柵%誤差%脩正方法%光電顯微鏡%激光波長%線紋呎
계량학%장광책%오차%수정방법%광전현미경%격광파장%선문척
针对长光栅测量系统的误差特点提出了一种实用的综合修正方法.通过光电显微镜、线纹尺、数据拟合工具将光栅位移长度溯源到激光波长.提出的误差修正方法简单、实用、修正精度高.对于三坐标测量机、测长机等精密线位移平台都具有借鉴和参考价值.
針對長光柵測量繫統的誤差特點提齣瞭一種實用的綜閤脩正方法.通過光電顯微鏡、線紋呎、數據擬閤工具將光柵位移長度溯源到激光波長.提齣的誤差脩正方法簡單、實用、脩正精度高.對于三坐標測量機、測長機等精密線位移平檯都具有藉鑒和參攷價值.
침대장광책측량계통적오차특점제출료일충실용적종합수정방법.통과광전현미경、선문척、수거의합공구장광책위이장도소원도격광파장.제출적오차수정방법간단、실용、수정정도고.대우삼좌표측량궤、측장궤등정밀선위이평태도구유차감화삼고개치.
