偏置电压对射频/微波MEMS电容开关寿命的影响
편치전압대사빈/미파MEMS전용개관수명적영향
Effects of Bias Voltage on the Lifetime of Radio Frequency/Microwave MEMS Shunt Switches
  • 万方数据
    微电子学 미전자학
    MICROELECTRONICS
    2004年 1期 30-33,37 ,共5页

    龙永福%石艳玲%赖宗声%朱自强%朱荣锦%忻佩胜%李炜

    룡영복%석염령%뢰종성%주자강%주영금%흔패성%리위

    射频%微波%MEMS%开关%电场强度%冲击速度%寿命 射頻%微波%MEMS%開關%電場彊度%遲擊速度%壽命
    사빈%미파%MEMS%개관%전장강도%충격속도%수명
    理论分析了影响射频/微波MEMS电容开关寿命的因素:介质内的电场强度和可动薄膜对介质膜的冲击速度.用三种不同的偏置电压,对介质内电场强度和可动薄膜对介质膜的冲击速度进行了数值分析和比较.提出了在脉冲电压作用下,可得到可动薄膜对介质膜最小的冲击速度和介质内的最小电场强度,从而极大地提高MEMS电容开关运行的可靠性和寿命.实验验证了上述结论.
    이론분석료영향사빈/미파MEMS전용개관수명적인소:개질내적전장강도화가동박막대개질막적충격속도.용삼충불동적편치전압,대개질내전장강도화가동박막대개질막적충격속도진행료수치분석화비교.제출료재맥충전압작용하,가득도가동박막대개질막최소적충격속도화개질내적최소전장강도,종이겁대지제고MEMS전용개관운행적가고성화수명.실험험증료상술결론.
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