电子显微学报
電子顯微學報
전자현미학보
JOURNAL OF CHINESE ELECTRON MICROSCOPY SOCIETY
2007年
6期
563-569
,共7页
纳米焊接%纳米切割%高强度电子束
納米銲接%納米切割%高彊度電子束
납미한접%납미절할%고강도전자속
对小到1 nm大到100 nm的"纳米尺度",目前并没有成熟的原位物理加工技术.我们演示高强度电子束技术在纳米尺度上应用于原位物理加工的潜力,将高亮度场发射透射电子显微镜的电子束汇聚到直径1 nm左右,可得到强度为1096 A/cm2量级的电子束.这样的电子束可被用来在直径几十纳米的单根金属或硅纳米线上实现结构修饰,切割出小孔、窄桥及缝隙等各类纳米尺度的图案结构.强度稍弱的电子束则可被用来实现在金属纳米线之间,或者金属纳米线与硅纳米线之间的焊接,也可被用于去除纳米线表面的氧化层.这些物理加工机制涉及高能电子穿越固体时各类非弹性散射造成的加热、非晶化、溅射、等离子气化等非线性效应.作为一项无污染且作用范围非常局域化的原位技术,它可直接应用于纳米结和纳米器件的修饰与制备.
對小到1 nm大到100 nm的"納米呎度",目前併沒有成熟的原位物理加工技術.我們縯示高彊度電子束技術在納米呎度上應用于原位物理加工的潛力,將高亮度場髮射透射電子顯微鏡的電子束彙聚到直徑1 nm左右,可得到彊度為1096 A/cm2量級的電子束.這樣的電子束可被用來在直徑幾十納米的單根金屬或硅納米線上實現結構脩飾,切割齣小孔、窄橋及縫隙等各類納米呎度的圖案結構.彊度稍弱的電子束則可被用來實現在金屬納米線之間,或者金屬納米線與硅納米線之間的銲接,也可被用于去除納米線錶麵的氧化層.這些物理加工機製涉及高能電子穿越固體時各類非彈性散射造成的加熱、非晶化、濺射、等離子氣化等非線性效應.作為一項無汙染且作用範圍非常跼域化的原位技術,它可直接應用于納米結和納米器件的脩飾與製備.
대소도1 nm대도100 nm적"납미척도",목전병몰유성숙적원위물리가공기술.아문연시고강도전자속기술재납미척도상응용우원위물리가공적잠력,장고량도장발사투사전자현미경적전자속회취도직경1 nm좌우,가득도강도위1096 A/cm2량급적전자속.저양적전자속가피용래재직경궤십납미적단근금속혹규납미선상실현결구수식,절할출소공、착교급봉극등각류납미척도적도안결구.강도초약적전자속칙가피용래실현재금속납미선지간,혹자금속납미선여규납미선지간적한접,야가피용우거제납미선표면적양화층.저사물리가공궤제섭급고능전자천월고체시각류비탄성산사조성적가열、비정화、천사、등리자기화등비선성효응.작위일항무오염차작용범위비상국역화적원위기술,타가직접응용우납미결화납미기건적수식여제비.
