西安工业大学学报
西安工業大學學報
서안공업대학학보
JOURNAL OF XI'AN TECHNOLOGICAL UNIVERSITY
2008年
2期
112-114
,共3页
椭圆偏振仪%偏振光%薄膜厚度%折射率
橢圓偏振儀%偏振光%薄膜厚度%摺射率
타원편진의%편진광%박막후도%절사솔
为了消除单波长消光椭圆偏振仪测量薄膜光学参数的测量误差,从椭圆偏振仪的测量原理和方法分析了椭圆偏振法测量薄膜折射率和厚度可能的误差来源.表明对测量结果影响比较大的是起偏器P的零点误差δp和1/4波片偏离45°的数值误差δ2,给出了消除误差的方法.用椭圆偏振仪进行了测量实验,对测量结果进行了系统误差修正,修正比可达到1.7%.
為瞭消除單波長消光橢圓偏振儀測量薄膜光學參數的測量誤差,從橢圓偏振儀的測量原理和方法分析瞭橢圓偏振法測量薄膜摺射率和厚度可能的誤差來源.錶明對測量結果影響比較大的是起偏器P的零點誤差δp和1/4波片偏離45°的數值誤差δ2,給齣瞭消除誤差的方法.用橢圓偏振儀進行瞭測量實驗,對測量結果進行瞭繫統誤差脩正,脩正比可達到1.7%.
위료소제단파장소광타원편진의측량박막광학삼수적측량오차,종타원편진의적측량원리화방법분석료타원편진법측량박막절사솔화후도가능적오차래원.표명대측량결과영향비교대적시기편기P적영점오차δp화1/4파편편리45°적수치오차δ2,급출료소제오차적방법.용타원편진의진행료측량실험,대측량결과진행료계통오차수정,수정비가체도1.7%.
