电子工艺技术
電子工藝技術
전자공예기술
ELECTRONICS PROCESS TECHNOLOGY
2010年
3期
135-140
,共6页
高海凤%杨瑞霞%杨帆%孙聂枫%周晓龙
高海鳳%楊瑞霞%楊帆%孫聶楓%週曉龍
고해봉%양서하%양범%손섭풍%주효룡
磷化铟%单晶生长%缺陷%杂质%半绝缘
燐化銦%單晶生長%缺陷%雜質%半絕緣
린화인%단정생장%결함%잡질%반절연
介绍了磷化铟的基本属性及其在光电子与微电子器件方面的应用,归纳了磷化铟合成与单晶生长的主要方法,并对各种方法进行了比较.对国内外磷化铟体单晶领域的的研究状况、磷化铟中的缺陷与杂质及半绝缘磷化铟的形成机制方面的研究成果作了介绍和讨论,同时,介绍了磷化铟单晶材料研究领域的发展趋势.
介紹瞭燐化銦的基本屬性及其在光電子與微電子器件方麵的應用,歸納瞭燐化銦閤成與單晶生長的主要方法,併對各種方法進行瞭比較.對國內外燐化銦體單晶領域的的研究狀況、燐化銦中的缺陷與雜質及半絕緣燐化銦的形成機製方麵的研究成果作瞭介紹和討論,同時,介紹瞭燐化銦單晶材料研究領域的髮展趨勢.
개소료린화인적기본속성급기재광전자여미전자기건방면적응용,귀납료린화인합성여단정생장적주요방법,병대각충방법진행료비교.대국내외린화인체단정영역적적연구상황、린화인중적결함여잡질급반절연린화인적형성궤제방면적연구성과작료개소화토론,동시,개소료린화인단정재료연구영역적발전추세.
