材料开发与应用
材料開髮與應用
재료개발여응용
DEVELOPMENT AND APPLICATION OF MATERIALS
2010年
4期
68-71,86
,共5页
ITO薄膜%透明导电薄膜%制备方法%研究进展
ITO薄膜%透明導電薄膜%製備方法%研究進展
ITO박막%투명도전박막%제비방법%연구진전
概述了透明导电薄膜的分类及ITO薄膜的基本性质,综述了用于制备ITO薄膜的磁控溅射法、真空蒸发法、溶胶.凝胶法、喷雾热解法、化学气相沉积法,论述了不同制备方法的优缺点.最后,介绍了ITO薄膜的应用现状,并对ITO薄膜的发展趋势进行了展望.
概述瞭透明導電薄膜的分類及ITO薄膜的基本性質,綜述瞭用于製備ITO薄膜的磁控濺射法、真空蒸髮法、溶膠.凝膠法、噴霧熱解法、化學氣相沉積法,論述瞭不同製備方法的優缺點.最後,介紹瞭ITO薄膜的應用現狀,併對ITO薄膜的髮展趨勢進行瞭展望.
개술료투명도전박막적분류급ITO박막적기본성질,종술료용우제비ITO박막적자공천사법、진공증발법、용효.응효법、분무열해법、화학기상침적법,논술료불동제비방법적우결점.최후,개소료ITO박막적응용현상,병대ITO박막적발전추세진행료전망.
