固体电子学研究与进展
固體電子學研究與進展
고체전자학연구여진전
RESEARCH & PROGRESS OF SOLID STATE ELECTRONICS
2010年
4期
601-605
,共5页
郑富中%唐一科%周兆英%杨兴%吴英
鄭富中%唐一科%週兆英%楊興%吳英
정부중%당일과%주조영%양흥%오영
单壁碳纳米管阵列%化学气相沉积%控制转移%场效应
單壁碳納米管陣列%化學氣相沉積%控製轉移%場效應
단벽탄납미관진렬%화학기상침적%공제전이%장효응
单壁碳纳米管(Single-walled carbon nanotube,SWCNT)有许多异常的电特性,要完全实现其在实际电子系统中的潜在应用价值,需要在器件与电路的结合上有不断创新的方法.由于SWCNT在电子学上分为金属型和半导体型两大类,其中每一大类根据手性的不同在电特性上又各有差异,再加上要合成或合成后分离出单一手性的SWCNT,目前的技术还存在相当大的难度.结合化学气相沉积中的控制生长、控制转移排列整齐有序SWC-NT阵列与微加工工艺等方法,将SWCNT阵列作为一个器件单元来进行测试,测试结果显示了一定的场效应特性.
單壁碳納米管(Single-walled carbon nanotube,SWCNT)有許多異常的電特性,要完全實現其在實際電子繫統中的潛在應用價值,需要在器件與電路的結閤上有不斷創新的方法.由于SWCNT在電子學上分為金屬型和半導體型兩大類,其中每一大類根據手性的不同在電特性上又各有差異,再加上要閤成或閤成後分離齣單一手性的SWCNT,目前的技術還存在相噹大的難度.結閤化學氣相沉積中的控製生長、控製轉移排列整齊有序SWC-NT陣列與微加工工藝等方法,將SWCNT陣列作為一箇器件單元來進行測試,測試結果顯示瞭一定的場效應特性.
단벽탄납미관(Single-walled carbon nanotube,SWCNT)유허다이상적전특성,요완전실현기재실제전자계통중적잠재응용개치,수요재기건여전로적결합상유불단창신적방법.유우SWCNT재전자학상분위금속형화반도체형량대류,기중매일대류근거수성적불동재전특성상우각유차이,재가상요합성혹합성후분리출단일수성적SWCNT,목전적기술환존재상당대적난도.결합화학기상침적중적공제생장、공제전이배렬정제유서SWC-NT진렬여미가공공예등방법,장SWCNT진렬작위일개기건단원래진행측시,측시결과현시료일정적장효응특성.
