光子学报
光子學報
광자학보
ACTA PHOTONICA SINICA
2012年
2期
159-165
,共7页
微纳米结构表面%亚波长光栅%抗反射%时域有限差分法%模拟
微納米結構錶麵%亞波長光柵%抗反射%時域有限差分法%模擬
미납미결구표면%아파장광책%항반사%시역유한차분법%모의
亚波长微纳米结构表面具有优良的抗反射特性,本文以硅基太阳能电池响应光谱的300～1 200 nm为应用基础,利用时域有限差分法计算了表面面形、结构参量的占空比、高度和周期以及光波入射角等对二维微纳米结构表面反射特性的影响,并结合等效介质理论进行了进一步理论分析,结果表明:等截面光栅结构的反射率较大,结构参量影响也较小；锥形渐变截面光栅结构的抗反射性能较好,且反射率随着占空比、结构高度的增大而显著下降；同时,光波在光栅法线的±40°范围内入射时,反射率均较小.通过对亚波长微纳米光栅结构的反射特性的模拟和分析,为抗反射表面的设计和制作提供了基础.
亞波長微納米結構錶麵具有優良的抗反射特性,本文以硅基太暘能電池響應光譜的300～1 200 nm為應用基礎,利用時域有限差分法計算瞭錶麵麵形、結構參量的佔空比、高度和週期以及光波入射角等對二維微納米結構錶麵反射特性的影響,併結閤等效介質理論進行瞭進一步理論分析,結果錶明:等截麵光柵結構的反射率較大,結構參量影響也較小；錐形漸變截麵光柵結構的抗反射性能較好,且反射率隨著佔空比、結構高度的增大而顯著下降；同時,光波在光柵法線的±40°範圍內入射時,反射率均較小.通過對亞波長微納米光柵結構的反射特性的模擬和分析,為抗反射錶麵的設計和製作提供瞭基礎.
아파장미납미결구표면구유우량적항반사특성,본문이규기태양능전지향응광보적300～1 200 nm위응용기출,이용시역유한차분법계산료표면면형、결구삼량적점공비、고도화주기이급광파입사각등대이유미납미결구표면반사특성적영향,병결합등효개질이론진행료진일보이론분석,결과표명:등절면광책결구적반사솔교대,결구삼량영향야교소；추형점변절면광책결구적항반사성능교호,차반사솔수착점공비、결구고도적증대이현저하강；동시,광파재광책법선적±40°범위내입사시,반사솔균교소.통과대아파장미납미광책결구적반사특성적모의화분석,위항반사표면적설계화제작제공료기출.
